美國McMillan Company流量計(jì)U701

?美國MCMILLAN生產(chǎn)專用于UHP高純度工況的流量計(jì).

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MODEL U701 U702 U705 U706 U707 U708 U709 U801 U802 U803 U804

?適用于CMP slurries、酸液、溶劑、以及其它的高純凈流體，完全符合UHP等級(jí)規(guī)范。

?McMillan的產(chǎn)品QC 部門特別設(shè)置了專屬的Class100 等級(jí)的微粒分析無塵實(shí)驗(yàn)室，McM 也是第一間采取這種措施的流量計(jì)制造商。
McMillan Model802

?流量測量控制儀

??專利的Pelton Microturbine設(shè)計(jì)，搭配Cam-driven Diaphragm Valve，提供 /-1%的高精確度、高達(dá) /-0.2%的覆現(xiàn)性、以及<=3秒的靈敏反應(yīng)速度，并且沒有零點(diǎn)漂移的缺點(diǎn)。
?全機(jī)不含消耗性零組件。內(nèi)部流道采一體成型設(shè)計(jì)，沒有fitting、seal等零組件，維護(hù)成本極為低廉。沒有流體沈積及阻塞問題，不需更換耗材、backflush，也不需PM。
?所有接液部位零件均采用PTFE、Kal-Rez、sapphire材質(zhì)制成，具有極佳的化學(xué)耐受性。
?適用于CMP slurries、酸液、溶劑、以及其它的高純凈流體，完全符合UHP等級(jí)規(guī)范。
?具備15~10000mL/min的廣泛流量范圍、市面上唯一可耐受高達(dá)90℃的流體溫度、2~80psi的操作壓力范圍等特性，提供使用者廣泛的應(yīng)用選擇。

?McMillan Model 803

?流量測量控制儀