LED非接觸式膜厚儀

  波長范圍:360nm-1050nm

  快速全自動量測 

  精密量測膜厚及折射率 

     各種功能材料的光學常數測量和光譜特性分析 

  15Å~至幾個 um（依賴何種材料）

 橢貨參數精度:  ≦0.01for Tan (ψ);  ≦0.01 for Cos (Δ)

 直接測量透明基板上之鍍膜，無需基板背面處理或染黑

 與工研院長期的合作來往建立的光學基礎，同時引進美國、法國、日本、德國等先進技術，并與不同業界客戶交流的實務經驗，因此相當了解客戶的需求與困擾，所以無論在硬件與軟件或是分析應用，都能滿足客戶的需求，目前國內外也有相當多的實績。 

   高質量之光學與電動元件，無需防震桌。 

   燈泡更換容易，客戶可自行操作，無需校正。 

      FFT-在應用分析上，可除了橢圓儀原本的回歸分析，還增加了傅利葉的分析方式，可針對不同的材料與厚度使用，User使用上更為便利與快速.

     具有Analyzer Tracking功能，可大幅提升量測精度，與PEM之效果相同。

   可搭配反射儀使用，可于日后Upgrade

   可量測透明基板，無需背后處理。 

   可Upgrade為 in line量測設備。

   采用美國進口光譜儀，量測速度快。

   使用步進馬達并非Rotating Polarizer，避免馬答損壞。 

      固定量測角度-70度，可避移動時所造成的量測誤差與機械損害(光學儀器都應減少移動)。 

      產品性價比極佳，質量與量測能力可達甚至超越國外儀器之水平，公司備有DEMO儀器，可供客戶實施操作比較。

      應用：量測LED外延片、觸摸屏鍍層的厚度和折射率等參數。