紫外光刻機

型號：URE-2000/35

簡單介紹：光刻機：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創新采用三柔性支點實現高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制；采用專利技術積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明；可連續設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。

一．技術特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動型）

和高校教學科研（可靠性好，演示方便）
采用專利技術——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應和實現均勻照明；
1、采用三爪和球氣浮同時找平，無論大片、小片調平精度均高；   
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；     
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達500μm；   
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，

并提供USB輸出；既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光結果和

方便存儲；  
5、電機機構、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復性好；    
7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；      
8、對準完成，自動消除曝光間隙，無橫向漂移且可通過監視器觀察； 
9、快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999.9s）；     
10、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度；   
11、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式，即曝光時采用高亮度照明，而不曝光

時采用低亮度的“待機”，從而延長了汞燈壽命。      
12、設備外形美觀精制，性能非常可靠；
13、上下片、版十分方便，自動化程度很高，操作簡便。

二．技術參數  
1、曝光面積：100mm×100mm（可升級6英寸） 
2、分辨力：0.8-1µm（膠厚2mm的正膠）     
3、對準精度：：±0.8µm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應非標準片或碎片)   
7、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
8、照明均勻性：±3%（Ф100mm范圍）
9、掩模相對于樣片運動行程：  X:±5mm;  Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流） 
11、曝光波長：365nm（進口汞燈）
12、曝光能量密度：15mW/cm 可以根據需要增強或調弱(420nm以上波長小于0.1mW/cm )
13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s—9999.9s）

應用領域 
集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等