關于SN型和SD型
SN型長期使用在ORC的曝光設備和照射裝置,大量客戶使用,確保了程序管理的連續性。
SD型是用半導體和液晶基板的程序,可與其他公司的照度計,計測量的數據兼容,(ORC造的曝光裝
置中,投影性曝光裝置和液晶基板的周圍曝光裝置應用于SD型中)強力推薦這套全新的照度計的使用
關于SN型和SD型的指示值
特 徴
? 紫外線露光用の制御信號を出力できる紫外線光量計です。? 10チャンネルの光量設定、光量測定、照度測定、タイマー設定、時間計測などのマルチ機能を備えています。? 光量測定中に、照度表示と時間表示に切り替えが可能です。? 機器組込型UV-M10-Pと卓上型UV-M10-Sをお選びいただけます。? 受光器は、ご使用されている(ご使用予定の)光源とレジスト等の感度にあわせてUV-25,35,42用をご選択いただきます。ただし電子回路(プリント)基板の製造工程でお使いの場合にはUV-SN25,UV-SN35,UV-SN42を、半導體、液晶用基板の製造工程でお使いの場合にはUV-SD25,UV-SD35,UV-SD42をご選択されるように推奨します。
◆ SD型とSN型について
SN型は古くから當社製の露光裝置や照射裝置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
SD型は半導體や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(當社製の