SJ6000激光干涉儀

一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現(xiàn)各種參數的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

二.SJ6000激光干涉儀原理

中圖SJ6000激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。

四.SJ6000激光干涉儀顯著特點

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③ 可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數據，進行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。