一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③ 可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

三.SJ6000激光干涉儀用途

1.激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具。檢定時可按照規定標準處理測量數據并打印出誤差曲線，為機床的修正提供可靠依據。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、 平行度、垂直度等形位誤差，在現場使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測長機上，取代原測長機的坐標系統，作為一般計量室中的長度基準。

4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標鏜、螺絲磨等精密機床及坐標測量機上作為坐標系統，使定位精度大為提高。

5.激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，儀器可按預定的間距自動完成檢測和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結合使用是一套高精度長度—角度比相計，可作為機床傳動鏈，絲桿螺旋線等誤差的測量系統。