特 徴
? 露光裝置、UVコンベヤー等の照度と光量の管理ができます。? 小型、軽量、薄型な、ハンディタイプです。? 機種は、用途に合わせてUV-351(UV-SD35相當)、UV-351-25(UV-SD25相當)、UV-351-42(UV-SD42相當)からお選びいただけます。? 光量測定、照度測定、ピーク照度測定など、各種の測定モードを選択できます。? メタル?ボディで熱に強く、堅牢な構造です。
◆ SD型とSN型について
SN型は古くから當社製の露光裝置や照射裝置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
SD型は半導體や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(當社製の露光裝置でも投影型露光裝置や液晶基板用の周辺露光裝置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。
◆ SD型とSN型の指示値について
SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(當社計測グループで校正用の放射源として使用している高圧UVランプの365nmの輝線を同一の測定條件で測定した時に示される照度の値: mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。
◆ 他社製照度計?光量計とのデータ互換性について
可視光用の照度計?光量計(家庭?事務所?店舗?美術館などの明るさをLUX単位で測る照度計?光量計)と違い、紫外線用の照度計?光量計の全てに適用される規格は未だ整えられていません(ごく一部の限定された用途でJIS化の作業は