日立高新HITACHI（精工SIINT） SFT-110型 X射線熒光鍍層厚度測量儀

日立高新HITACHI（精工SIINT）（SEA1000S、SEA1000A、SEA1000AⅡ、SEA1200VX、SEA6000VX，均能升級(jí)至測定鹵素，膜厚儀SFT-110、SFT9300、SFT9500）,SFT-110系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管，實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。SFT-110極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)極微小部分的測定。對(duì)有段差的樣品也適用。

1．SFT-110搭載了50W高性能X射線管。
2．SFT-110搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管（最小Φ15μm）。
3．容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。SFT-110搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
4．依據(jù)照明能很容易對(duì)以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。
5．FT-110搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6．搭載了焦點(diǎn)切換功能，SFT-110能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測定。
7．SFT-110利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。
7．SFT-110運(yùn)用激光聚焦功能簡單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。