IS12C濺射蒸碳儀
配置參數(shù)如下:
儀器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H)
真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm(D×H)
靶(上部電極): 50mm×0.1mm(D×H)
樣品臺(tái): 50mm (D)
操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar
工作電壓: 0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流: 0-50mA
濺射定時(shí): 1-9999S
蒸碳電流 0-10A(AC)
真空泵: 4升兩級(jí)機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵(極限真空2×10-2mbar)
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