IS12C濺射蒸碳儀

配置參數(shù)如下：

儀器尺寸 ：    400mm×300mm×400mm（L×W×H）

真空樣品室：   硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）

靶（上部電極）： 50mm×0.1mm（D×H）

樣品臺：       50mm (D)

操作真空：     4×10^-1mbar至2×10^-2mbar

工作電壓：     0-1600V (DC)可調(diào)

濺射電流：     0-50mA

濺射定時：     1-9999S

蒸碳電流       0-10A(AC)

真空泵：       4升兩級機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（極限真空2×10^-2mbar）