FL-696F離子減薄儀

離子減薄儀是電子顯微鏡的配套儀器，主要用于制備透射薄膜樣品。離子減薄儀在材料科學(xué)和骨骼學(xué)中有著廣泛的應(yīng)用。用離子減薄儀所制備的樣品質(zhì)量均勻而且無任何污染。該儀器可以制備各種固體材料的樣品，如：金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、礦物及骨骼等。

離子減薄技術(shù)指標(biāo)：

1、真空度過                 5×10-3Pa（不送氣）

2、加速電壓                 0-10KV連續(xù)可調(diào)

3、最大束流密度             大于200微安/厘米

4、減薄速度（銅）           30μ/h（最大）

5、采用“薄軸承”試樣臺(tái)，在減薄過程中對(duì)離子束無遮擋

6、離子不對(duì)樣品的最小傾角   

                            7°（普通試樣臺(tái)）

                            2°（拋光試樣臺(tái)）

7、采用特殊照明系統(tǒng)，觀察簡(jiǎn)便，無須加裝光學(xué)系統(tǒng)

8、照明系統(tǒng)和觀察系統(tǒng)有防污染裝置

9、真空系統(tǒng)裝有防誤操作裝置