D500i凹坑儀

凹坑儀設備建立了TEM樣品制備機械預減薄的標準。其凹坑方法已經(jīng)成功運用于許多不同的材料，如硅、鎵砷化合物、鍺、藍寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復合物。

規(guī)格

大小：

長      27" (68.6 cm)           寬   14" (35.6 cm)

高     13" (33.0 cm)           重    70 磅 (32 kg)

電源：

標準       120 VAC, 60Hz      可選         240 VAC, 50Hz

替換的保險絲：

標準               120 VAC 2A     可選               240 VAC 1A

公差：

1）電子：

Z 偏移量：     精確 1μm

范    圍:：      2000 μm

Z 終止精確度：

Tool 1i/3i ≤±1 μm   Tool 2i/4i ≤±2 μm

工具壓力： 1-200 gm / 1 gm steps

平    衡： 靈敏度 < 1 gm

工具速度： 100 to 600 RPM, 恒速

樣品壓盤轉(zhuǎn)速：10 RPM, 恒速                    

2）機械：

工具傳動軸：≤0.5 μm TIR*

工具：

1i/3i ±1 μm TIR2i/4i ±2 μm TIR                                       

壓盤表面：垂直漂移 ≤0.5 μm TIR