X-Mill 精密研磨系統(tǒng) 北京德東科技有限公司

X-Mill 精密研磨系統(tǒng)

X-Mill是Allied的新型自動(dòng)精密研磨拋光系統(tǒng)，應(yīng)用于微電子行業(yè)。在制樣領(lǐng)域的應(yīng)用：背面/正面失效分析，逆向工程、材料工程等。設(shè)置向?qū)Вㄔ谄聊粠椭藛危┰O(shè)定：X-Y-Z啟動(dòng)/停止，X-Y研磨率，Z-力，Z-增量，銑削模式和工具疊加等。

特點(diǎn)：

l          閉環(huán)Z軸力控制（gF）。

l          閉環(huán)Z軸定位精度，0.1微米。

l          Z軸力控制自動(dòng)監(jiān)測(cè)X-Y研磨率。

l          閉環(huán)X-Y軸，伺服電機(jī)控制移動(dòng)，1微米分辨率。

l          按照向?qū)Р僮鳎恍枰?/span>G-coding和編程知識(shí)。

l          自動(dòng)化自調(diào)整升降臺(tái)。

l          每個(gè)樣品和設(shè)備命名，存儲(chǔ)和調(diào)用存儲(chǔ)程序。

l          12寸彩色液晶觸摸屏，圖形用戶界面。

l          提供各類標(biāo)準(zhǔn)夾具，以及定制內(nèi)部夾具，我們應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室不斷發(fā)展拋光工藝。樣品夾單獨(dú)出售。

l          在美國(guó)設(shè)計(jì)制造。

機(jī)動(dòng)水平位移臺(tái)

水平位移臺(tái)自動(dòng)調(diào)節(jié)，是樣品頂層表面與研磨面平行。可用來校正由于底座的蠟變化產(chǎn)生的傾斜，或感應(yīng)區(qū)的樣品（例如，模具在封裝中）與模具上表面不平行。

各種耗材和安裝/校準(zhǔn)工具

水平位移臺(tái)自動(dòng)調(diào)節(jié)，是樣品頂層表面與研磨面平行。用來校正樣品由于底座上的蠟變化產(chǎn)生的傾斜，或當(dāng)感應(yīng)區(qū)的目標(biāo)(例如，模具在封裝中)與模具上表面不平行時(shí)