當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)
然后部分有機廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。采用高能C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清除效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅菌的目的。
凈化處理設備適用范圍：
噴漆車間、噴涂車間、烤漆車間、烤漆房、烘干房、印刷廠、印刷車間，油墨車間、化工廠、造紙廠、電子廠、電子焊接，電子線路板廠等工廠工業車間產生酸堿廢氣、有機廢氣、廢氣粉塵異味臭味等場所。染料廠、金屬鑄造廠、橡膠廠、食品加工廠、肉類加工廠、屠宰廠、家禽養殖廠、造紙廠、印刷廠、塑料廠、石油廠、牛皮紙廠、合成樹脂廠、中西藥廠、 牛皮紙漿廠、油漆廠、塑料再生廠、電路板廠、煤氣廠、化肥廠、鑄造廠、煉油廠、飼料廠、鋼鐵廠、合成洗滌劑廠、肥皂廠、噴涂溶劑等等有毒有害污染物氣體的脫臭凈化處理。
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