尼康金相顯微鏡

尼康金相顯微鏡

集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統(tǒng)，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

最大觀察樣品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學系統(tǒng)，徹底消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞； 
 

尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點

? 專為300mm晶圓和光罩檢測 

? 利用更高的分辨率，對比度和透射CFI60光學系統(tǒng) 

? 更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡 

? 新光源和四次美好的透射照明，先進的光學設計結果 

?預中心的燈箱提供更高的亮度，同時僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦 

? 電動物鏡轉換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍

 應用 ? 晶圓 ? 液晶顯示器 ? 其他各種檢查

 兩種機型可供選擇： 

?  L300N：Episcopic照明類型 

最大樣品尺寸：300mm晶圓 

第一階段行程：354 x302毫米 

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標而定） 

?  L300ND：透射/ Episcopic照明類型 

最大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD） 

第一階段行程：354 x302毫米（透射照明范圍：354 x268毫米）

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標而定）

 各種各樣的觀測技術 

各種各樣的觀測技術，如明場，暗場，簡單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發(fā)可應用于包括300mm晶圓和OLED檢查應用。

 暗場觀察 

新開發(fā)的暗場照明光學顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內(nèi)樣品的劃痕和拓樸的檢測能力。

 明場觀察 

尼康CFI60系統(tǒng) - 一個成功合并的CF光學系統(tǒng)無限遠光學 - 高亮度，高對比度的圖像。

 Nomarski DIC的觀測 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡單地插入物鏡轉換器單Nomarski棱鏡。  DIC的圖像清晰和與最小的色調(diào)明快，即使在低放大倍率。 高對比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。

 半兼容設計 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導體設備和材料協(xié)會（SEMI）為安全準則（S7 - 0703）和人體工程學（S8 - 1103）。 由于目鏡的位置更貼近運營商，不觸摸階段的運營商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。

 防靜電更強有力的保障 

靜電放電涂料已應用于身體的階段，鏡筒（L2 - TT2型），及各種控制。 這加強了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產(chǎn)提高。

 固定位置的XY控制 

 XY精運動控制仍然接近運營商在相同的位置，使其不必要的運營商，以延長他或她的手臂，移動舞臺。 因為移動的標本和重點，可以進行一個手擱在桌子上，操作者可以重點觀察。

 簡單的訪問控制 

主要控制旋鈕和按鈕都位于前面的基礎，允許快速，操作簡便，同時觀看樣品，并盡量減少在漫長的觀測疲勞。

 對焦目標 

重點目標輕松地移動和光路允許在低對比度的樣品，如裸晶圓容易對焦。

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