|
|
||||||||||||||||||||||||||||

氣體種類繁多,性質(zhì)各異,因此,氣體傳感器種類也很多。按待檢氣體性質(zhì)可分為:用于檢測(cè)易燃易爆氣體的傳感器,如氫氣、一氧碳、瓦斯、汽油揮發(fā)氣等;用于檢測(cè)有毒氣體的傳感器,如氣、硫氫、砷烷等;用于檢測(cè)工業(yè)過程氣體的傳感器,如煉鋼爐中的氧氣、熱處理爐中的二氧碳;用于檢測(cè)大氣污染的傳感器,如形成雨的NOx、CH4、O3,家庭污染如醛等。按氣體傳感器的結(jié)構(gòu)還可分為干式和濕式兩類;按傳感器的輸出可分為電阻式和費(fèi)電阻式兩類;按檢測(cè)院里可分為電學(xué)法、電氣法、光學(xué)法、學(xué)法幾類。
人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料都存在氣敏效應(yīng)。用這些金屬氧物制成的氣敏薄膜是一種阻抗器件,氣體分子和敏感膜之間能交換離子,發(fā)生還原反應(yīng),引起敏感膜電阻的變。作為傳感器還要求這種反應(yīng)必須是可逆的,即為了消除氣體分子還必須發(fā)生一次氧反應(yīng)。傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧反應(yīng)進(jìn)程。
在SnO2材料內(nèi)摻雜是改善傳感器選擇性的主要方法,添加Pt、Pd、Ir等不僅能有效地提高元件的靈敏度和響應(yīng)時(shí)間,而且,催劑不同,導(dǎo)致不同的吸附傾向,從而改善選擇性。例如在SnO2氣敏材料中摻雜Pt、Pd、Au可以提高對(duì)CH4的靈敏度,摻雜Ir可降低對(duì)CH4的靈敏度,摻雜Pt、Au提高對(duì)H2的靈敏度,摻雜Pd降低對(duì)H2的靈敏度。