普發真空氫氦質譜檢漏儀ASM 390

高性能移動型檢漏儀——ASM 390

干式氦檢和移動性

ASM 390 和 ASM 392 是完美的泄漏檢測解決方案，可用于半導體和顯示器產業以及其他要求極高的應用，這些應用需要快速的抽空時間和高靈敏度。兩種型號都完全符合 Semi S2 標準。

這些檢漏儀都裝備干式非接觸前級泵和強大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產設

備的停機時間。

耐用、精確、可靠

ASM 390 和 ASM 392 的開發是基于實現任何等級的操作人員都能上手的設備。他們都可以在最短的時間里提供卓越性能和精確的結果，從而在現場提高效率。

符合人機工學且操縱靈敏

ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺，人機工學設計獨特，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉、可拆卸，前部入口易于連接測試端口，可操作性無與倫比，可用于各種測試場地，即使狹小的空間也應對自如。

精巧智能且用戶友好

通過色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉和真空波紋管存儲的集成工具箱，在使用地點所有需要的附件無不齊備，您會感嘆泄漏檢測多么輕松。

產品優勢

• 性能卓越，靈敏度高，移動性強

• 采用無顆粒，潔凈的干式ACP羅茨泵作為前級泵

• 無塵室兼容

• 快速進入測量狀態

• 可選的通信接口

• 360度全彩觸摸顯示屏提供更佳的視野

• 9種可選語言及直觀簡便的菜單導航

應用領域

半導體 鍍膜 太陽能 粒子加速 真空管件（貫通器材、閥門、波紋管、伸縮接頭）鐳射技術 超純物質 電子元器件 航天 醫藥