感應加熱電源主要由逆變器、諧振單元、變壓器和感應器組成。其中逆變器是一個交－直－交的變流器，將工頻交流電能變換成為幾千至幾百千赫茲的中頻或高頻電能。諧振單元和變壓器一端連接逆變器，另一端連接感應器，將高壓變成隔離的低壓并進行阻抗匹配。加熱時，感應器中流過強大的高頻電流，在導體內產生感應電流，因此導體迅速被加熱。感應加熱電源的諧振頻率根據被加熱對象和工藝的不同而不同，一般從一千至幾十千赫茲最為常用。

  逆變器所需的中頻和高頻逆變器件決定了裝置的形式，它經歷了從電子管、晶閘管到目前普遍采用 igbt 的發展歷程。早期的感應加熱設備以大功率真空電子管為核心構成單級自激振蕩器，把高壓直流電能轉換成高頻交流電能，由于電壓變換環節較多、電子管轉換效率低，設備的總體效率一般在50％以下，水和電能的消耗非常大。與電子管設備相比，晶閘管式感應加熱設備的效率大為提高，達到85％左右，但其諧振頻率較低、逆變換流部分相當復雜、損耗仍然較大。而采用 igbt 或 mosfet 的感應加熱設備總體效率在 90％以上，諧振頻率可達數百千赫茲，且結構大為簡化，設備可靠性、功率因數等其它品質均得以提高。