上海伯東inTEST便攜式冰水機(jī)在半導(dǎo)體刻蝕上的應(yīng)用

隨著科技的不斷發(fā)展，現(xiàn)代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以半導(dǎo)體刻蝕為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足要求，同時刻蝕質(zhì)量、運(yùn)動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。

半導(dǎo)體晶圓在電器組件中起到至關(guān)重要的作用，而半導(dǎo)體晶圓在生產(chǎn)制造過程中為了保證半導(dǎo)體晶圓的質(zhì)量需要對半導(dǎo)體晶圓快速降溫，但是由于降溫裝置直接將溫度降到下限值往往容易造成半導(dǎo)體晶圓皸裂。

因此，環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項(xiàng)關(guān)鍵問題，而冰水機(jī)的出現(xiàn)正好解決了這一難題。

上海伯東inTEST便攜式冰水機(jī)在半導(dǎo)體刻蝕上的應(yīng)用

美國inTEST為了滿足市場的需求，推出了可為汽車/能源/化學(xué)加工/工業(yè)和半導(dǎo)體等行業(yè)的超低溫風(fēng)冰和水冰式冰水機(jī)的新系列。

每個過程冰卻器類型的三種型號-W-80水冰和A-80風(fēng)冰系列-為實(shí)現(xiàn)24/7溫度控制期間的可靠性而設(shè)計。

便攜式冰水機(jī)在精確的溫度下循環(huán)傳熱流體，每種型號都提供各種冰卻能力以支持特定的應(yīng)用，在-80°C時高達(dá)2.5kW。

便攜式冰水機(jī)的溫度范圍在-80℃~50℃，其溫度控制溫度性高達(dá)±0.5℃，可以精確掌控半導(dǎo)體刻蝕工藝過程中溫度，保證半導(dǎo)體刻蝕工藝中對溫度的變化尤為敏感的測量精度的準(zhǔn)確性，保證半導(dǎo)體晶圓快速降溫的同時不會由于降溫裝置直接將溫度降到下限值而造成半導(dǎo)體晶圓皸裂的問題。

上海伯東inTEST便攜式冰水機(jī)的優(yōu)勢：

1.    冰水機(jī)組配備了車載診斷程序，可幫助預(yù)測冰水機(jī)組的運(yùn)行狀況并避免意外停機(jī)

2.    通過選擇水冰凝器或風(fēng)冰冰凝器，該系統(tǒng)可輕松集成到生產(chǎn)設(shè)備中

3.    直觀的觸摸屏接口允許設(shè)置熱曲線，查看數(shù)據(jù)和趨勢以及記錄診斷信息

4.    通信接口包括（以太網(wǎng)，RS232，USB）用于遠(yuǎn)程冰卻器控制。

除了用于半導(dǎo)體刻蝕工藝外，上海伯東美國 inTEST Thermonics 超低溫流體冰水機(jī)還搭配 MCT IC 自動測試分選機(jī) SH-5000 成功應(yīng)用于有鉛測試引線半導(dǎo)體封裝和無鉛測試引線半導(dǎo)體封裝的測試市場.

上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機(jī)中國總代理.

美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機(jī)和 -120°C 超低溫冰水機(jī)用于冰卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機(jī), 超低溫氣體冰水機(jī)和超低溫液氮, 液態(tài)二氧化碳制冰機(jī). Thermonics 低溫冰水機(jī)可選水冰或氣冰, 并與各種導(dǎo)熱液體相容. 滿足各種超低溫工藝冰卻需求, 廣泛應(yīng)用于化學(xué), 能源, 半導(dǎo)體, 汽車等領(lǐng)域.