掃描探針顯微鏡( Scanning Probe Microscopy，SPM) 以其較強的原子和納米尺度上的分析加工能力，在納米科學技術的發展中占據極其重要的位置。掃描探針顯微鏡是在掃描隧道顯微鏡( STM) 基礎上發展起來的。1982 年，德國物理學家GBinnig 和H Rohrer發明了具有原子級分辨率的掃描隧道顯微鏡( Scanning Tunneling Microscope，STM) ，它使人類第一次能夠直觀地看到物質表面上的單個原子及其排列狀態，并深入研究其相關的物理化學性能。因此，它對物理學、化學、材料科學、生命科學以及微電子技術等研究領域有著十分重大的意義和深遠的影響。STM 的發明被公認為20 世紀80 年代世界十大科技成果之一。Binnig 和Rohrer 因此獲得了1986 年諾貝爾物理學獎。原子力顯微鏡是SPM 家族中最重要的成員之一。1986 年Binnig 等人為了彌補STM 不能對絕緣樣品進行檢測和操縱而發明了原子力顯微鏡( Atomic Force Microscopy，AFM) ，AFM 由于不需要在探針與樣品間形成導電回路，突破了樣品導電性的限制，因此使其在科研應用領域更加廣闊。

AFM 的工作原理

AFM 的工作原理分為探測系統和反饋系統兩大部分。探測系統包括探針用以感受樣品的表面信息、激光系統用以收集探針上的信號，反饋系統的功能是控制探針的相對高度，以保證探針能夠保持一定高度從而順利探測到樣品信息。AFM 在掃描圖像時，針尖與樣品表面輕輕接觸，而針尖尖端原子與樣品表面原子間存在微弱的相互作用力，會使懸臂產生微小變化。這種微小變化被檢測出并用作反饋來保持力的恒定，就可以獲得微懸臂對應于掃描各點的位置變化，從而獲得樣品表面形貌的圖像。AFM 的工作模式是以針尖與樣品之間作用力的形式來區分主要有接觸模式、非接觸模式、輕敲模式三種工作模式。探針針尖是AFM 的核心部件 ，探針針尖的幾何參數、物理性能等將顯著影響原子力顯微鏡的成像分辨率。傳統AFM 敲擊模式微懸臂/針尖一體化的硅針尖，由于硅探針硬脆，其本身不僅容易磨損，降低探針使用壽命，而且成像過程中易損害掃描的樣品，特別是檢測生物等柔軟樣品。后有研究者對硅探針進行深入研究和改進，提高其靈敏度和使用范圍，或使用其它材料如碳材料制備的探針等。AFM 在納米科學中應用的研究進展納米科技作為當前的熱點研究的科學領域，如何對這一尺度內的材料、器件的結構和性能以及科學現象進行觀測表征，這關系到人們能夠在多大的限度內開展納米科技的研究，因此，納米檢測技術就變得尤為重要。AFM 的應用無疑是對納米科技的發展和進步起到必要的檢測保證。本文從AFM 對納米材料的外貌特征觀察、力學分析、納米材料加工等三個方面對其進行綜述。

1. 外貌特征觀察

通過檢測探針與樣品間的作用力可表征樣品表面的三維形貌，這是AFM 最基本的功能。AFM 在水平方向具有0. 1 ～ 0.2nm 的高分辨率，在垂直方向的分辨率約為0. 1nm。由于表面的高低起伏狀態能夠準確地以數值的形式獲取，因此AFM對表面整體圖像進行分析可得到樣品表面的粗糙度、顆粒度、平均梯度、孔結構和孔徑分布等參數，也可對樣品的形貌進行豐富的三維模擬顯示，使圖像更適合于人的直觀視覺，因此AFM 對納米材料或是微納米電極的外貌特征的表征有著廣泛的應用。

2.力學分析

研究材料的微觀作用力是對于了解它們的結構和性能具有重要意義。利用AFM 能獲得探針針尖與樣品間力距的關系曲線，幾乎包含了所有樣品和針尖之間相互作用的必要信息，利用力曲線分析技術就能給出特定分子或基團與納米材料表面的黏附力值等物理性質。

3. 納米材料加工

掃描探針納米加工技術的基本原理是利用探針- 樣品納米可控定位和運動及其相互作用對樣品進行納米加工操縱，從而可以對納米生物材料進行納米級操縱加工，制備得到科學家所預設的樣品。常用的基于AFM 的納米加工技術包括機械操縱和蘸筆納米刻蝕技術等，通過對AFM 進行升級從而實現對納米材料的操縱加工功能。

除以上所述，AFM 在其它方面如結構分析、晶體分析、生物醫學等都有廣泛的應用和發展。

結語

綜上所述，AFM 由于操作簡單，對樣品要求不高，高分辨率，可檢測樣品的范圍廣等優點，使其具有越來越廣闊的應用前景。利用AFM 可以很好的研究納米材料的外貌特征觀察、力學分析、納米材料加工等方面的特性。隨著計算科學技術的進步，AFM 將在納米材料領域的研究中發揮更大的作用。

上海伯東代理英國 NanoMagnetics 原子力顯微鏡主要應用于材料科學, 聚合物科學, 半導體工業領域. 與 STM 對比 AFM 原子力顯微鏡可以觀測非導電樣品, 應用范圍更廣.

伯東ezAFM 原子力顯微鏡主要技術參數：

? 任意對準的設計模式

? 掃描范圍: 120 × 120 × 40 μm 或 40 × 40 × 4 μm（XYZ）

? Z軸分辨率: Z分辨率 < 0.2 nm, 在 120 μm x 120 μm 掃描范圍時

? Z軸分辨率: Z分辨率< 0.02 nm, 在 40 nm x 40 μm 掃描范圍時

? 固有噪聲: < 75fm√Hz

? 橫向解析度: 大范圍掃描時<16 nm, 小掃描時 < 5nm

? 樣本大小: 不限制

? 特征: 便攜式, 用戶友好, 價格實惠, 大掃描區域 ( x, y, z), 低壓運行

 檢測模式:

? 間歇性接觸      

? 相位成像 / 相位對比      

? 接觸模式  /靜力

? 橫向力顯微鏡（LFM）   

? 磁力顯微鏡（MFM）  

? 靜電力顯微鏡（EFM）

? 壓電響應力顯微鏡（PRFM）    

? 開爾文探針力顯微鏡（KPFM）

? 力調制    

? 導電AFM（c-AFM） 

? 掃描擴散電阻顯微鏡( SSRM )

? 多光譜模式        

? 光刻和操作模式       

? 液體模式

伯東公司主要經營產品德國 Pfeiffer渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI Kaufman 考夫曼離子源（離子槍）.