KRI 霍爾離子源控制器成功替換取代 Veeco Commonwealth控制器

伯東公司為 Kaufman & Robinson, Inc (美國考夫曼公司) 大中國區總代理.

美國考夫曼公司霍爾離子源控制器已成功替換取代 Veeco Commonwealth 控制器, 完全不需更改任何鍍膜機計算機程序及相關設定即可直接運做.

KRi (考夫曼) 霍爾源控制器有全自動控制器 (Auto Controller), 燈絲控制器 (Filament Controller),陽極控制器 (Discharge Controller), 運作時選擇全自動匹配 (Auto Gas), 半自動 (Manual Gas) 匹配及全手動匹配 (Gas Only) 三種操作選項. 在全自動逼配模式自動控制器依照客戶所設定之陽極電流 (Vd) 及陽極電壓 (ID) 自動調整氣體以維持工藝所需要的離子束能量. 全自動控制器可以記憶四組離子參數, 工藝中更換參數組別時可以在離子束點火中直接切換參數組別, 不需重新熄火做點燃離子束, 以達到最穩定的離子束狀態.

實際案例:

1.    設備: 1.3 米鍍膜機.

2.    基材: 塑料護目鏡.

3.    離子源條件: Vb:140V(離子束陽極電壓), Ib:2.5A(離子束陽極電流), O2 gas: 9sccm(氧氣).

4.    圖片:

上海伯東是美國考夫曼離子源 Kaufman & Robinson, Inc 中國總代理. 美國 KRi 霍爾離子源全自動匹配, 四組參數記憶, 可同時控制四種氣體流量的設計, 可以提供更方便的操做及獲得更穩定的離子束.可以完全替換 Veeco, Commonwealth, 國產霍爾離子源控制器.

KRi 霍爾離子源控制器 (End Hall Controller) 型號: 全自動控器 (Auto controller), 燈絲控制器(Filament Controller), 陽極控制器 (Discharge Controller)

上海伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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