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Hobigne|認為高級氧化法的作用機理是通過不同途徑產生HO自由基的過程。羥基自由基HO一旦形成會誘發系列的自由基鏈反應，攻擊水體中的各種污染物.直致降解為一氧化碳、水和其他礦物鹽。可以說高級氧化技術是以產生HO自由基為標志。O2/UV(紫外)、H2O2/UV(紫外)、3/H2O2及非均相Ti2光催化氧化等幾種典型的高級氧化技術研究表明，，高級氧化法的應用領域可擴展到水體中難降解的持久性有機污染物，但應加強所需新型反應器的研制，以便進一步強化廢水的降解，提高其處理效率，與其它的廢水處理方法相比，高級氧化法具有以下特點：產生大量非常活潑的羥基自由基HO其氧化能力(2.8V)僅次于氟(2.87v)，它作為反應的中間產物，可誘發后面的鏈反應：HO無選擇地直接與廢水中的污染物反應將其降解為一氧化碳、水和無機鹽不會產生二次污染：由于它是物理化學處理過程，很容易加以控制，以滿足處理需要甚至可以降解。的污染物：既可單獨使用，又可與其他處理方法相匹配，如作為生化法的前后處理，可降低處理成本。在國外，高級氧化法處理廢水早已在些對經濟成本不敏感的工業過程中得到了廣泛的應用。國內近年米應用H2O2/UV法處理造紙廠廢水也取得了明顯進展，用O3uV法處理廢氣的研究也己開。此外，高級氧化法所需的新型反應器，如的鼓泡塔反應器、旋轉填料床反應器、流化床光催化反應器、撞擊流反應器與高級氧化法偶合的研究也正在展開，以便進步強化廢水的降解和提高其處理效率。
