電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類(lèi)有30多種，組分復(fù)雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來(lái)源于對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。一般來(lái)說(shuō)，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)，電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
電子廠廢氣處理方法
（1）預(yù)處理階段：一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
（2）主要處理階段：在此階段，比較常見(jiàn)而有效方法有：UV光解，生物過(guò)濾分解，焚燒和催化燃燒等。
這幾種方式各有優(yōu)劣，根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)去除VOCs氣體的方案。
活性炭濃縮+催化燃燒法簡(jiǎn)介
（1）活性炭濃縮
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即采用活性炭吸附裝置來(lái)對(duì)廢氣進(jìn)行濃縮。由于電子廠廢氣具有風(fēng)量大，濃度低的特點(diǎn)，而催化燃燒系統(tǒng)在啟動(dòng)運(yùn)行時(shí)，對(duì)能源的消耗較大，如果預(yù)處理后的氣體先通過(guò)活性炭吸附到達(dá)一定濃度后，再進(jìn)入催化燃燒系統(tǒng)，相對(duì)于直接進(jìn)入催化燃燒系統(tǒng)，將可以大大的節(jié)省能源的消耗。
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活性炭吸附器又可稱為活性炭吸附器、活性炭吸附過(guò)濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過(guò)濾吸附異味的環(huán)保設(shè)備產(chǎn)品，活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等材質(zhì)制作。活性炭吸附塔具有吸附效率高、適用面廣、維護(hù)方便、能同時(shí)處理多種混合廢氣等優(yōu)點(diǎn)，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害氣體和消毒除臭等作用。
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有機(jī)廢氣氣體由風(fēng)機(jī)提供動(dòng)力，正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附器塔體，由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力或化學(xué)健力，因此當(dāng)此固體表面與氣體接觸時(shí)，就能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在固體表面，污染物質(zhì)從而被吸附，活性炭吸附到一定時(shí)間后，即可進(jìn)入脫附流程，脫附后的氣體即是濃縮后的vocs氣體
（2）蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)(RCO)
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催化燃燒是典型的氣—固相催化反應(yīng)，它借助催化劑降低了反應(yīng)的活化能，使其在較低的起燃溫度200～ 300℃下進(jìn)行無(wú)焰燃燒，有機(jī)物質(zhì)氧化發(fā)生在固體催化劑表面
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同時(shí)產(chǎn)生CO2和H2O，并放出大量的熱量，因其氧化反應(yīng)溫度低，所以大大地抑制了空氣中的N2形成高溫NOx。而且由于催化劑有選擇性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物(RNH)的氧化過(guò)程，使其多數(shù)形成分子氮(N2)。
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蓄熱式催化燃燒，相對(duì)于普通的催化燃燒設(shè)備，增加了熱量循環(huán)裝置，設(shè)備啟動(dòng)一定時(shí)間后，可大大降低對(duì)電量的消耗，為工廠省下大量的電費(fèi)。
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