氣體傳感器闡述

半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變；非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結型二極管以場效應管MSFET，它利用敏感氣體會改變MOSFET開啟電壓，其與ISFET離子敏傳感器件相同。

氣體傳感器規格

溫度對傳感器靈敏度有影響。下左為SnO2氣敏器件對氣體溫度電阻特性曲線。由可見，器件在不同溫度下對氣體靈敏度不同，利用這一特性識別氣體。制備工藝對SnO2氣敏特性也有很大影響。如在SnO2中添加ThO2，改變燒結溫度和加熱溫度就產生不同氣敏效應。

氣體傳感器種類

SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2為基底材料，再添加不同其他物質，用制陶工藝燒結而成，燒結時埋入加熱和測量電極。此外，也蒸發和濺射等工藝制成薄膜器件和多層膜器件，這類器件靈敏度高，動態特性。