當脫機信號FREE為低電平時，驅(qū)動器輸出到馬達的電流被切斷，馬達轉(zhuǎn)子處于自由狀態(tài)（脫機狀態(tài)）。在有些自動化設備中，如果在驅(qū)動器不斷電的情況下要求直接轉(zhuǎn)動馬達軸（手動方式），就可以將FREE信號置低，使馬達脫機，進行手動操作或調(diào)節(jié)。手動完成后，再將FREE信號置高，以繼續(xù)自動控制。
六、如何選擇步進馬達驅(qū)動器供電電源？
確定驅(qū)動器的供電電壓，然后確定工作電流；供電電源電流一般根據(jù)驅(qū)動器的輸出相電流I來確定。如果采用線性電源，
電源電流一般可取I的1.1～1.3倍；如果采用開關(guān)電源，電源電流一般可取I 的1.5～2.0倍。
七、如何選擇步進馬達驅(qū)動器供電電壓？
步進馬達驅(qū)動器，都是寬壓輸入，輸入電壓很大的范圍可以選擇；電源電壓通常根據(jù)馬達的工作轉(zhuǎn)速和響應要求來選擇。如果馬達工作轉(zhuǎn)速較高或響應要求較快，那么電壓取值也高，但注意電源電壓的紋波不能超過驅(qū)動器的輸入電壓，否則可能損壞驅(qū)動器。如果選擇較低的電壓有利于步機馬達的平穩(wěn)運行，振動小。
八、細分驅(qū)動器的細分數(shù)是否能代表精度
細分也叫微步，主要目的是減弱或消除步進馬達的低頻振動，提高馬達的運轉(zhuǎn)精度只是細分技術(shù)的一個附帶功能。比如對步進角為1.8°的兩相混合式步進馬達，如果細分驅(qū)動器的細分數(shù)設置為4，那么馬達的運轉(zhuǎn)分辨率為每個脈沖0.45°，馬達的精度能否達到或接近0.45°，還取決于細分驅(qū)動器的細分電流控制精度等其它因素。不同廠家的細分驅(qū)動器精度可能差別很大；細分數(shù)越大精度越難控制。
所用絲桿為滾珠螺桿 , 直徑 D=2Omm, 長度 L=1 米 , 負載 P=5OKG,Z1,Z2 為傳動齒輪 ,Z1 分度
圓直徑為 D1=200mm,Z2 分度圓直徑為 d2=100mm, 寬度為 2 厘米μ為摩擦系數(shù) , 在此設其為μ=0.2 電機啟動速度 VO=300RPM, 運行速度 V1=900RPM, 加速時間 t=200ms, 由此可求得負載轉(zhuǎn)矩如下 :
T=9.8 μ PD/2/1000
=9.8 × 0.2 × 50 × 20/2/1000
=0.98( 牛米 )
2. 計算傳動構(gòu)件的轉(zhuǎn)動慣量
滾珠螺桿轉(zhuǎn)動慣量 :
IO=1.57(R^4)ρ L //ρ 為密度 ,
=1.57 × (0.01^4) × 7800 × 1
=0.012( 千克-米平方 )
同理可分別求得 Z1 與 Z2 轉(zhuǎn)動慣量 , 假定求得 Z1 轉(zhuǎn)動慣量為
I1=0.024( 干克·米平方 )
Z2轉(zhuǎn)動慣量為
I2=0.0015( 千克-米平方 )
3. 計算傳動比
I21=d1/d2=2
4. 計算電機起動轉(zhuǎn)矩
Tm=T/i21+(lO+I1) ξ/l 21+l2 ×ξ // ξ為電機的角加速度 , 此處 =314
=0.98/ 2+ (0.012+0.024) × 314/2+0.0015× 314
=0.49+5.652+0.471
序號 型號 描述 數(shù)量
1 HE-XL102 觸摸屏式OCS為5.7寸真彩色彩色顯示屏（32K顏色），256K梯形圖邏輯內(nèi)存，32K寄存器內(nèi)存，掃描速率0.2ms/K。該控制器還內(nèi)置了12點直流輸入（正/負邏輯）兼容12/24伏，6點繼電器輸出（4A), 4通道10-bit模擬輸入（0-10V/4-20mA) 1
2 HE559MIX577 該I/O擴展模塊，通過CsCAN總線與XL102通訊，4通道模擬量輸入 (+/-10V, +/-20mA) 14-bit精度， 2通道模擬量輸出 (+/-10V, +/-20mA) 14-bit 精度. 逐一通道選擇。 1
三．OCS方案技術(shù)特點
1．無人值守全自動運行
本系統(tǒng)采用了可一鍵啟動自動運行方案，限度避免了誤操作帶來的損失。在送電后，控制器工作，各設備自檢，當滿足預先設定的啟動條件（如回水壓力、水箱液位等）后按順序啟動各個設備。在運行過程中，系統(tǒng)無需人工調(diào)節(jié)，如有需要，借助于強大的通信功能，可以在監(jiān)控中心實現(xiàn)所有參數(shù)的調(diào)節(jié)。
2．實現(xiàn)了換熱機組的遠程監(jiān)控、診斷
本系統(tǒng)采用HORNER XL6系列控制器，通過DTU將現(xiàn)場所有實時數(shù)據(jù)傳送到監(jiān)控中心的上位機。可在上位PC機采集、記錄并實時察看機組供水溫度、回水溫度、溫控閥開度、水泵運行狀態(tài)、故障報警等運行數(shù)據(jù)，及時發(fā)現(xiàn)和解決運行中的問題。站名、站號、參數(shù)采樣頻率、報警限值、系統(tǒng)運行參數(shù)等均可在監(jiān)控中心和現(xiàn)場進行靈活設置。
3．先進而強大的控制功能
根據(jù)用戶使用時間控制供水溫度，并可預先設置溫度調(diào)節(jié)曲線，保證節(jié)能優(yōu)化。
實現(xiàn)室外溫度自動補償，自動控制二次側(cè)出水溫度功能
靈活的控制方式，可以根據(jù)不同用戶的不同需求對溫控方式靈活修改。
靈活控制壓力或壓差，從而根據(jù)工況有效控制水泵，滿足系統(tǒng)要求。
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*請讓我們知道您有任何，備品，備件，的需要，我們可以給您進一步的援助，我們等候您的詢盤。
【主營產(chǎn)品】
1：Invensys Foxboro（福克斯波羅）：I/A Series系統(tǒng)，F(xiàn)BM（現(xiàn)場輸入/輸出模塊）順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數(shù)模轉(zhuǎn)換、輸入/輸出信號處理、數(shù)據(jù)通信及處理等。
2：Invensys Triconex: 冗余容錯控制系統(tǒng)、基于三重模件冗余（TMR）結(jié)構(gòu)的最現(xiàn)代化的容錯控制器。
3：Westinghouse（西屋）： OVATION系統(tǒng)、WDPF系統(tǒng)、WEStation系統(tǒng)備件。
4：Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。
5：Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140系列處理器、控制卡、電源模塊等。
6：ABB：工業(yè)機器人備件DSQC系列、Bailey INFI 90等。
7：Siemens(西門子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens數(shù)控系統(tǒng)等。
8：Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。
9：XYCOM：I/O 、VME板和處理器等。
10：GE FANUC(GE發(fā)那科)：模塊、卡件、驅(qū)動器等各類備件。
11：Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服馬達、伺服驅(qū)動器。
12：Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅(qū)動模塊等。
13：Woodward（伍德沃德）：SPC閥位控制器、PEAK150數(shù)字控制器。
14:工業(yè)機器人系統(tǒng)備件。
WARNER 5319-631-003 PB-250 24V
SMC GUIDED CYLLINDER MXS12 MXS12-30 MXS12-30AS
SMC GUIDED CYLLINDER MXS12 MXS12-50 MXS12-50AS
POLYSPEDE AC DRIVE XLT3 XLT3-75FG 24 AMP
SMC GUIDED CYLINDER MXS MXS16-75
HOFFMAN PUSHBUTTON ENCLOSURE E2PBG 58990
HOFFMAN PUSHBUTTON ENCLOSURE E4PB 58040
VEXTA 2 PHASE DRIVER CSD2120-P 2.8 AMP
ANAHEIM AUTOMATION BILEVEL MOTOR DRIVER MBL68-21
ANAHEIM AUTOMATION BILEVEL MOTOR DRIVE MBL628-B21
FANUC BOARD A20B-2002-0210 01A
FANUC BOARD A20B-2002-0521
FANUC A20B-8100-0100 06D
WATLOW IMMERSION HEATER FOR727J3 F0R727J3
SYMBOL BAR CODE SCANNER LS2208-SR20001R?-UR ( 5)
BECKHOFF KL2612 OUTPUT TERMINAL 2POINT RELAY 6
SONY VIDEO CAMERA 3CCD DXC-960MD CMA-D2 COMPLETE SYSTEM
KB ELECTRONICS DC DRIVE KBRG-225D 16 AMP DC
THK BALL SPINE BEARING LTR 2LTR50UUZZCM+71?1L
SONY CAMERA ADAPTOR DC-77RR
KOLLMORGEN SERVO AMPLIFIER KXA-48-8-16/AUX 0088060-003
MJ10016 TRANSISTOR 10
RED LION APLRI600 APOLLO TIME INTERVAL RATE INDICATOR
RED LION CONTROLS APLPV400 APOLLO PROCESS VOLTMETER
FISHMAN LDS9000-3 D060001 LINEAR DISPENSING SYSTEM
SUPERIOR ELECTRIC SLO-SYN 230-T OH
STI GUARDMASTER 4M CABLE FRS-6 44507-0090 SAFETY SWITCH
FESTO PNEUMATIC SIGNAL CONVERTER 215542 PE-1/8
DEMA INJECTOR 200-3C 4
KEMET MAGNETIC STIRRER
GELMAN VERSAPOR 200 FILTERS 66415
SPRECHER & SCHUH CA6-HB2 FRAME TERMINAL BLOCK CA6HB2
CLIPSAL WHD20 20AMP SWITCH
KOLLMORGEN SERVO-DISC U9FP KIT STD 981001 04H06200
THERMALOGIC TEMPERATURE CONTROLLER BA3201-63
CKD PRESSURE SWITCH PPS-APCS FL161081 pps2
CROUZET MILLENIUM 2 SA20 88950053
MOELLER VS1DIL INTERFACE MODULE 9 PCS VS1D1L
MOELLER CONTACTORE DIL0M DILOM IN BOX
SPRECHER & SCHUH CA6-TGE855 22.951.301-05 CA6TGE
SIEMENS INTERLOCKING MECHANICAL CONTACTOR 3TB4210-1G
TIMKEN BEARING CONE 48220
FAFNIR FLANGE BEARING RFC1 RFC 1 1 INCH
FAFNIR BALL BEARING 211NPPG C1 55MM
SKF FLANGE BEARING 211-200 163Z
TIMKEN BALL BEARING 592 594
THK LINEAR BEARING HSR25A2UUC0E+46?0L BOX OF 2
MOSPEC TRANSISTOR MJ10023 6
MITSUBISHI FR-PU02E VFD KEYPAD FRPU02E
CROUZET MILLENIUM 2 SA20 88950054
INGERSOLL RAND COIL 5250C799G01 C951107 MODEL K
FUJI SERVO CONTROLLER DES750A DES-750A 750W
MELEC D-551A PM DRIVER D551A
PULS POWER SUPPLY QT20.241 VDC 20AMP 380-480VAC 3PH
MITSUBISHI SERVO DRIVER MELSERVO-S0 MR-SO203P MR-S0203P
MITSUBISHI SERVO DRIVER MELSERVO-S0 MR-SO103P MR-S0103P
SIGNET SCIENTIFIC SIGNAL CONDITIONER MK 514 P51440-1
MINARIK VISI-TACH DIGITAL INDICATOR VT8-D230AC
MINARIK DC DRIVE XL3300A 115/230VAC 50/60HZ
MINARIK DC DRIVE XL3300A 115/230VAC 50/60HZ
RELIANCE AC DRIVE SP200 0.5HP 115/230V S20-X02P3A-1000
MITSUBISHI MELSEC CONTROLLER INTERFACE A7GT-BUS NIB
MITSUBISHI SERVO AMPLIFIER MR-J10A1 MR-J MRJ10A1
AMCI SD17063 STEPPER DRIVE
SQUARE-D NEMA STARTER 8536 SAO11V02 SAO11V02
CARLOS GAZZI CONTACTOR CGC-75A CBG75A
SKF BALL BEARING 6217 2ZJEM 62172ZJEM
NSK BALL BEARING 6214ZZC3 6214ZZC3E 6214Z
MITSUBISHI FREQROL A200 FR-A220-3.7K 5HP
MITSUBISHI FREQROL-Z200 FR-Z220-3.7K-DS
CUTLER HAMMER PANELMATE 1755K PMPP 1700 92-01939-10
KEYENCE INTERFACE MODULE KV-L2
KEYENCE OUTPUT MODULE KV-C32T
KEYENCE POWER DISTRIBUTOR 24 VDC KV-U5
KEYENCE CPU KV-300
KEYENCE INPUT MODULE KV-C32XA
ALLEN BRADLEY CIRCUIT BREAKER 140U-J3 140U-J3X3 A
ALLEN BRADLEY CONTACTOR C60 100-C60L10 COIL 208/240
THK LINEAR BEARING HSR25A2UUC0E+46?0L (2 BEARINGS)
IFM EFECTOR PROXIMITY SENSOR IE5107
TOKYO SEIMITSU MOIRE DIVIDER HA1024A
PANASONIC AC SERVO DRIVER DV46S020LA3A
SCHAFFNER EMC FILTER FN351-64-33 64 AMP 3PH 440 VAC
SCHAFFNER EMC FILTER FN351-36-33 36 AMP 3PH 440 VAC
STORM STAINLESS KEYBOARD 1100 1100203- 3V0C
ZENER MSC MSC-M5 1M00541
MITSUBISHI MELSERVO-S0POWE?R SUPPLY MR-S0P500 MR-SOP500
PACK DRIVER STEPPER DRIVE AK-BX910M YPMD1
MITSUBISHI MELSEC PLC POWER SUPPLY A62P
THK LM SYSTEM HSR-25 HSR25A1SSGK ( 2)
THK LM GUIDE HR2042T HR2042TUU+340LS?P (2 UNITS)
R + W COUPLING 10MM TO 15MM NICE! HEY DUTY
WATLOW PROCESS CONTROL SERIES 942 942A-1BA1-A000
PORT 205-4 G C2 3 WATT VOLTAGE METER IN BOX
RATIOTROL DC MOTOR CONTROL VEL/H CM VELHCM
ALLEN-BRADLEY GUARDMASTER 440R-M23048 440RM23048 **
Helicoid 3-1/2 160 PSI Pressure Gauge E3P3F3A000000
BANNER SENSOR SM312F
SENSOTEC INLINE AMPLIFIER 060-3656-02
ALLEN BRADLEY 1201-HA2 PROGRAMMING TERMINAL 1201HA2 NIB
ATHENA TEMPERATURE CONTROL XT16 16JCBB00 SN41229
NATIONAL INVERTER DV-505 DV505-400SAB
BANNER SM312CV MINI-BEAM SENSOR
LAUREL ELECTRONICS PANEL METER RELAY L10200RMV2
BANNER FIBER OPT IC CABLE PIU460U BANNER 26230
CTC CONTROLLER MODEL 2200 2200 REV B 2203
CTC CONTROLLER MODEL 2200 2200XM REV B 2203
CTC CONTROLLER MODEL 2600 2600XM REV C 2203
CTC CONTROLLER MODEL 2600 2600XM REV C 2203
RED LION LIBC COUNTER LIBC1E00
SPRECHER + SCHUH MOTOR STARTER CA6-140-EI
CGI PRIME PLANETARY GEARHEAD 023PLX0280-XX-0?1910 28:1
DISCO PACK DRIVER D2590
DISCO PACK DRIVER D2590
NMB MINEBEA 5920PL-05W-B40 24 VDC .95 A FAN ( 10)
NMB MINEBEA 5920PL-05W-B40 24 VDC .95 A FAN
PEPPERL+FUCHS 32299S KHD2-ST-Ex2.P ISOLATED SWITCH
RED LION APOLLO PROCESS VOLTMETER APLPV400
NSK LINEAR GUIDE BEARING LS LS300 LS300540ALC2W01?P43
NSK LINEAR GUIDE BEARING LH LH250 LH250460GLC2W01?P43
KAYDON THIN SECTION BALL BEARING KG-200-XP0
L & H POWER SUPPLY TTM23-E1191/115?-230 PN 847747-043
EAGLE SIGNAL TIMER HG100A6 NIB
IVO TACHOMETER TA200.002AXA1 IN ORIGINAL PACKAGING
JELIN ELECTRONICS COMPARATOR JV3400
MITSUBISHI CONTACTOR SF30DM-H3 C7X1F AC240V 30A
EUCHNER PRECISION SWITCH EGT 1/4 R2000 001371 NIB
PARKER LINEAR STAGE 4552M
VERTEQ 1069347.3 MATCHING TRANSFORMER, TD 1076668.1.1
FAULHABER MINI MOTOR APRX 60RPM 24VDC 2224P0075
OMEGA PRECISION FINE WIRE THERMOCOUPLES CHAR-032 7PKS
PACK DRIVER AK-BX511 dit1
PACK DRIVER AK-BX511 I-1
FLOWLINE LC42-1001 LC421001
FESTO PNEUMATIC CYLINDER ADVU-40-20-A-P-?A FESTO 156629
OMEGA ENGINEERING CN9111A CN9000A SERIES NIB
ADVANCED MOTION CONTROLS PWM AMPLIFIER 30A8iT NIB
WATLOW ELECTRONIC CONTROL 2A04-071D-0022
Kistler 5114 Piezotron coupler, without power adaptor
YASKAWA VS MOTOR CONTROLLER CVSR-404H CVSR404H NIB
MINARIK PCM4 MINARIK PCM-4 NIB PROCESS CONTROL BOARD
BALDOR AMPLIFIER UM3015HO-100 FUH7121C-00
BALDOR AMPLIFIER UM3015HS-100 FUH7122C-00
MITSUBISHI PLC FXOS-14MR-ES FX0S14MRES
WOHLENBURG SPM 76 30 INCH PAPER CUTTER/TRIMMER
PETER WOLTERS PLATE DRIVE 2039 17460
PETER WOLTERS PLATE DRIVE 2039 17460
MITSUBISHI FREQROL Z300 FR-Z320-3.7K-UL 5HP
BALDOR AC DRIVE VFD ZD18H415-E OUTPUT 0-500HZ
BALDOR SERVO CONTROL UM4-100-2 UM3015HS-100 3 AXIS
SENSOTEC LOAD CELL SENSOR 060-2100-06 AL111CR
SONY MAGNESWITCH SET-B3 PG-10, PH-11, PD-10
MITSUBISHI FREQROL DRIVE Z120 FR-Z120-0.4K 3AMP VFD
STEGMANN INC ENCODER K15 4A 5E.0200 6-105398-010200
KULICKE & SOFFA SLE CONTROLLER 07700-2100-000-?01
FANUC POWER SUPPLY A16B-1212-0110-?01
ALLEN-BRADLEY 1746-IB16 AB1746IB16 17461B16 SERIALC
ALLEN-BRADLEY 1769-OF4VI AB COMPACT I/O 1769OF4VI
WESTECH SYSTEMS NOISE SUPPRESSION BOARD 372M-36191
FANUC TEACH PENDANT A05B-2115-C001
NIKON FBU-01 FEED BACK UNIT NIPPON KOGAKU
TOKYO SEIMITSU MODEL DS-110C
OMRON E8EB-10C OMRON PRESSURE SENSOR E8EB10C
OMRON PROXIMITY SWITCH E2E-X3D1-P1 E2EX3D1P1
OMRON H3DR-A TIMER
OMRON 60 SECOND TIMER H3DH 2
BALLUFF LIMIT SWITCH BNS 819-99-R-11 0633HU ( 10)
NATIONAL PANASONIC AC SERVO DRIVE DV-48S 020LB0B DV48S
KEYENCE OPERATOR INTERFACE MT-100 MT100
ALLEN BRADLEY 1305-AA12A 3HP 2.2KW SER C
HEIDENHAIN GLASS SCALE LP 501R P8 G0 ML 230MM +/- 1.0UM
HEIDENHAIN GLASS SCALE LIP 401R 294 850 R SER # 2276808
OMRON PRESSURE SENSOR E8EB-NOC2B E8EBN0C2B
OMRON SYSMAC PLC CPM1-10CDR-D CPM110CDRD
KEYENCE DIGITAL LASER SENSOR LV-12SA LV12SA
KEYENCE DIGITAL LASER SENSOR LV-11SA LV11SA
VICKERS DOUBLE A COIL 691357 2 COILS
ALLEN-BRADLEY COIL 70A01
IDEC PROXIMITY SENSOR SA4A-JH1
HIRSCHMANN ROD END SFCP20 FEMALE 20MM ROD END
FESTO PNEUMATIC CYLINDER EG-6-10-PK-3 FESTO 15892 2PCS
FESTO PRESSURE REGULATOR LRMA-M5-QS-4 153488 2
ALLEN BRADLEY CONTROL RELAY 700-CF400KJ SER A (LOT 0F 2
ALLEN BRADLEY CONTROL RELAY 700-CF400KJ SER A
SIMPSON DC PROCESS INDICATOR M235-1-0-72-0
SIMPSON DC PROCESS INDICATOR M235-1-0-72-0 ( 5)
FANUC RV REDUCER A97L-0118-0380 #15A-121 RV-15A2-121
FANUC RV REDUCER A97L-0118-038 #15A-141 RV-15A2-141
EAGLE INDUSTRY ROTARY JOINT FR00/0053 FR000053
EAGLE INDUSTRY ROTARY JOINT FR00/0053 FR000053
HARMONIC DRIVE SYSTEMS CS-40-80-2A-GR-?LC-SP
BALDOR DC DRIVE BC155 CN3000A33 26 AMPS DC
MITSUBISHI MELSEC PLC RACK A38B
WATLOW QPAC 1 MODEL # Q01/120/6 PART # 01-7101 08-5287
PMI MOTOR DRIVE TYPE CX-75-10-30 MODEL 00-88029-0006
RCM INDUSTRIES FLO GAGE 3/4-73-R-20-Z02 180 PSIG
MATSUSKITA NEL SYSTEM INTERFACE M30 M30TC 3883S11
HARMONIC DRIVE CS-20-80-2A-GR-?SP FANUC A97L-0118-0379
DISCO POWER SUPPLY FE5F-1RX4A
HEIDENHAIN ENCODER INTERFACE EXE 702B EXE702B
HEIDENHAIN ENCODER INTERFACE EXE 702B EXE702B
PACIFIC SCIENTIFIC SERVO CONTROL SC423-402-T4
POLYSPEDE PSV3-151 15HP INPUT 400-460V 60HZ
DOLAN-JENNER PL 900 PL900 FIBER LIGHT ILLUMINATOR
KEYENCE FIBER SENSOR FS-V32P FSV32P
KEYENCE AMPLIFIER ES SERIES ES-32DC ES32DC
KEYENCE PROXIMITY SENSOR EV-112U EV112U
KEYENCE SENSOR LV-S61 LV61S
KEYENCE FIBER SENSOR FS-17 FS17
KEYENCE FIBER SENSOR FS-17 FS17
KEYENCE FIBER OPTIC SENSOR FU-49X FU49X
HEIDENHAIN ND 231 ND231 DISPLAY UNIT ID NR 284 048 11
MITSUBISHI FREQROL Z300 FR-Z320-15K OUTPUT 61 AMP
ALLEN BRADLEY STARTER 112-C43FATC45 15 HP 240V
KEYENCE FIBER OPTIC FU-67
NSK LINEAR GUIDE BEARING LY LY250 LY2509600ALG3W0?1P31
NSK LINEAR GUIDE BEARING LY LY250 LY2509600ALG3W0?1P31
FANUC SERIES 18-MB A16B-2202-0860 A16B-1212-0901
FANUC MAIN PC BOARD CPU A16B-3200-0326/?12F
FANUC SERVO AMPLIFIER A06B-6096-H101
FANUC A02B-0200-B505 A16B-2202-0851 A16B-3200-0110
FANUC HEAT EXCHANGER 0094-C901
FANUC SERVO AMPLIFIER A06B-6093-H101
FANUC CRT OPERATOR INTERFACE A02B-0120-C051/?MAR
SUNX M-DW1.E K0 WAFER MAPPING SENSOR - SUNX UMDW1
