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OAI 品牌 659 紫外光能量計

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產品價格: /人民幣 
最后更新: 2021-07-30 11:11:29
產品產地: 本地
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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    產品詳細說明

    OAI品牌 659  紫外光能量計

           OAI品牌 659  紫外光能量計——適用于所有晶圓步進機
    在過去的45年里,OAI一直是紫外光和能量測量儀器的世界創造者,用于半導體、EMS、圓封裝和晶圓凸點等行業的光刻工藝的可靠準確校準控制。新型號659是一種新的紫外曝光分析儀,專門設計用于包括高強度晶圓步進機在內的所有晶片步進機。該儀器的平均曝光讀數高達400,具有以太網和USB接口,可下載記錄的測量值,強度范圍高達7500MW/cm2。探針的波長有365nm、400nm、420nm和436nm可選。OAI擁有一個完整的認證校準實驗室,以維護我們儀表的性能、質量和可靠性。659型儀表可追溯至NIST標準。
    規格
    用戶界面:觸摸屏
    計算機接口:可選以太網和USB下載記錄
    測量
    電源:電池采用充電保護的3.7V鋰離子充電
    充電器電源:100-240 VAC
    顯示設置:2個屏幕
    1.設置屏幕:以太網地址、日期和時間
    2.運行屏幕:波長、強度、時間、劑量、探針溫度、探針類型、偏差百分比、序列號、校準到期日、電池狀態、探針序列號和充電器狀態。
    內存存儲:高達400條讀取
    強度范圍:高達7500mw/cm2
    強度分辨率:0.01mW/cm2
    劑量范圍:高達1000 J/cm3
    劑量分辨率:0.01mJ/cm3
    時間范圍:高達9999秒
    時間分辨率:0.0001秒,*小劑量暴露25米秒
    尺寸:14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
    重量:3.5磅
    工作環境:15–40度
    符合:ROHS2和CE(EMC和安全)
    探頭規格
    選項:非補償溫度探頭
    探頭檢測器:硅光電二極管
    可用波長(nm)365、400、420、436
    過濾器:多層吸收/介質
    強度范圍:高達7500MW/cm2
    互換性:任何型號的659探針都可以與659儀表一起使用
    符合性:ROHS2和CE(EMC和安全)

    注:報價僅為主機報價,探頭可從上面4個中(365、400、420、436nm)選擇并單獨購買,還需提供步進機型號。
          6XX系列替換了之前的3XX和4XX系列,3XX和4XX系列于2020年12月停產。



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