一.技術(shù)參數(shù)

X軸(驅(qū)動(dòng)部分)

  測(cè)量范圍:    標(biāo)準(zhǔn)型和退避型為16mm，橫向型為5.6mm

  測(cè)量速度:    測(cè)量：0.25mm/s,0.5mm/s,0.75mm/s   返回：1mm/s

檢測(cè)器

  范圍:        360μm(-200μm到+160μm)

  分辨力:      360μm/0.02μm，100μm/0.006μm，25μm/0.002μm

  檢測(cè)方法:    有軌測(cè)量

  探針針尖:    90°/5μmR 測(cè)力4mN

               60°/2μmR 測(cè)力0.75mN

  導(dǎo)頭壓力:    小于400mN

電源:          內(nèi)置可充電鎳氫電池/AC適配器

電池壽命:      大約可測(cè)量1000次

充電時(shí)間:      大約4個(gè)小時(shí)

外形尺寸：     W115×D23×H26mm（包含檢出器）

外部I/O功能:   USB I/F，數(shù)顯輸出，打印機(jī)輸出，RS-232C I/F，腳踏開(kāi)關(guān) I/F

型號(hào)

SJ-210

驅(qū)動(dòng)器

標(biāo)準(zhǔn)型

退避型

橫向型

檢測(cè)器測(cè)力

0.75mN

4mN

0.75mN

4mN

0.75mN

4mN

貨號(hào)(mm)

178-560-01DC

178-560-02DC

178-562-01DC

178-562-02DC

178-564-01DC

178-564-02DC

 (inch/mm)

178-561-01DC

178-561-02DC

178-563-01DC

178-563-02DC

178-565-01DC

178-565-02DC