英福康全新現貨IC6薄膜沉積控制器INFICON

產品價格：	59999/人民幣
最后更新：	2021-09-17 21:04:40
產品產地：	德國
發貨地：	深圳 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

深圳市天鉉真空技術有限公司
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產品詳細說明

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 深圳市天鉉真空技術有限公司

功能豐富的 IC6 提供測量精度

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上，增添了更多獨特的功能，可幫助您實現沉積過程的價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統，提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質和功能，賦予您的過程卓越的可重復性。

功能

INFICON ModeLock 技術確保獲得高、穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
支持最多六個來源同時共鍍膜
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統（使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）
6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
可容納最多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關聯到一起，總共可容納 10,000 層。
多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
可選以太網通信
符合 RoHS 標準

典型應用

高端光學鍍膜

零件號

規格


測量性能
頻率分辨率		±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測量 (1)		±0.00433 ?
測量頻率范圍		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)		0.5%
測量周期		0.10 s
多個測量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設計功能
Auto Z		yes
自動色調		yes
共沉積		yes (up to 6 sources)
過程配方和數據管理
材料計劃		32
過程層（每個過程）		200
過程		50 (processes can be linked together)
USB 存儲器		yes
數據記錄		yes
硬件功能
傳感器 (3)
單		8
雙 / CrystalTwo®		4 / 8 (with CrystalTwo^® Switch)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8
通用		8

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