青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

產(chǎn)品價(jià)格：	面議/人民幣
最后更新：	2021-10-20 09:52:09
產(chǎn)品產(chǎn)地：	青島
發(fā)貨地：	本地至全國(guó) (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長(zhǎng)期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	318

公司基本資料信息

青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
岳曉茜小姐業(yè)務(wù)員
會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
郵件896337158@qq.com
手機(jī)15314229122
電話
傳真
地址青島市城陽(yáng)區(qū)北萬工業(yè)園6號(hào)

產(chǎn)品詳細(xì)說明

可完全代替進(jìn)口爐體，--加熱爐絲，進(jìn)口保溫材料，采用國(guó)外先進(jìn)加工工藝，爐體可長(zhǎng)期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。
設(shè)備特點(diǎn)：?
可保存多條工藝曲線每條曲線可設(shè)置多步
工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
自動(dòng)運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能
可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
PID參數(shù)自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關(guān)鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機(jī)界面
系統(tǒng)故障自診功能
停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
技術(shù)指標(biāo)：
可配置工藝管外徑2～8英寸
可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺(tái)
工作溫度范圍：400～1300℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：800～1300℃±0.5℃/24h
大可控升溫速率：15℃/min
大降溫速率：5℃/min?

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