3d輪廓檢測設備主要是測量微小結構件的微觀3D形貌，輔助判斷工藝參數是否需要調整。它以白光干涉掃描技術為基礎，用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?？梢赃_到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可以說只有3d光學輪廓儀檢測儀器設備才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

中圖儀器研發生產的3d輪廓檢測設備，應用領域廣泛，操作簡便，分辨率0.1μm，重復性0.1%，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量高要求的領域中。

產品參數

工作原理

光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

產品性能特征
1、高精度、高重復性
2、一體化操作的測量分析軟件
3、精密操縱手柄
4、雙重防撞保護措施
5、雙通道氣浮隔振系統

中圖儀器研發的的3d輪廓檢測設備讓輪廓測量價格更為實惠，適用于各種產品、部件和材料表面的臺階高度、表面缺陷、平面度、粗糙度、孔隙間隙、波紋度、面形輪廓、磨損情況、腐蝕情況、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，簡單來說就是主要用于成品的質量管理，確保良品合格率。