3d光學(xué)干涉輪廓儀，一鍵測(cè)量微納米三維形貌

信息化時(shí)代下，測(cè)量技術(shù)是科學(xué)技術(shù)發(fā)展和國(guó)民經(jīng)濟(jì)提高的關(guān)鍵與基礎(chǔ)，尤其是測(cè)量型儀器儀表，可以說(shuō)是信息產(chǎn)業(yè)的源頭和重要組成部分。現(xiàn)代化工業(yè)數(shù)字化測(cè)量要求高精度化、低成本和小型化，因?yàn)橹T如汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度，以便減少噪聲、防止環(huán)境污染和節(jié)省能耗，這些都是時(shí)代對(duì)制造業(yè)提出的緊迫要求。目前在3D檢測(cè)領(lǐng)域中，在同等系統(tǒng)放大倍率下，3d光學(xué)干涉輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，是高精度的檢測(cè)儀器之一，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域，除了表面形貌干涉儀，其他儀器都沒(méi)有辦法達(dá)到其測(cè)量精度要求。

白光干涉原理

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 3d光學(xué)干涉輪廓儀讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格更為實(shí)惠，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

測(cè)量應(yīng)用
以測(cè)量單刻線(xiàn)臺(tái)階為例：

1、在檢查儀器的各線(xiàn)路接頭都準(zhǔn)確插到對(duì)應(yīng)插孔后，開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān)，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，將單刻線(xiàn)臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置，先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置，對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
2、在計(jì)算機(jī)上打開(kāi)測(cè)量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測(cè)單刻線(xiàn)臺(tái)階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。

3、按開(kāi)始按鈕，儀器可自動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)量，測(cè)量完成后，轉(zhuǎn)件自動(dòng)生成3D圖像，測(cè)量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測(cè)器件表面線(xiàn)、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

標(biāo)準(zhǔn)配置

SuperView W1 3d光學(xué)干涉輪廓儀具有測(cè)量精度高、功能全、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi)，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。