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Aerotech ABG10000氣浮平臺
1氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動
3行程達(dá)1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測．
行程≤1000mm
精度±2um
重復(fù)定位精度±0.5um
直線度±1um
平面度±1um
Aerotech高精密定位平臺的詳細(xì)描述：
自1970年Aerotech開始研制性能的運(yùn)動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲，激光應(yīng)用，航空和國防，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動控制產(chǎn)品。
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Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值，我們的座右銘是：Dedicated to the Scienceof Motion。
ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計(jì)
2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用A3200控制器)
4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設(shè)計(jì)
行程≤150mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL1500直線電機(jī)平臺
1專為高性能掃描和檢測應(yīng)用設(shè)計(jì)
2分辨率達(dá)到nm以下的直線編碼器反饋
3全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4大負(fù)載高剛性幾何特性極好
行程≤500mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應(yīng)用設(shè)計(jì)
2運(yùn)動超平滑,速度穩(wěn)定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達(dá)1.2米
5全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
6全部非接觸設(shè)計(jì)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨(dú)特應(yīng)用設(shè)計(jì)
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機(jī)驅(qū)動XY軸
5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
ABL8000氣浮平臺
1專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計(jì)
2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性極好
3所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4行程達(dá)1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
ABL9000氣浮平臺
1世上性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
AHL9000直線電機(jī)平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4雙直線電機(jī)驅(qū)動步進(jìn)軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
ABG10000氣浮平臺
1氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動
3行程達(dá)1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測．
行程≤1000mm
精度±2um
重復(fù)定位精度±0.5um
直線度±1um
平面度±1um
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ANT95-L系列納米平移臺1.實(shí)現(xiàn)大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
ALS25000 直線電機(jī)平臺
1.防護(hù)金屬導(dǎo)軌罩和側(cè)面封閉可以適應(yīng)惡劣的環(huán)境
2.完整的電纜管理系統(tǒng)
3.高性能直驅(qū)直線電機(jī)實(shí)現(xiàn)優(yōu)良的伺服性能
4.緊湊結(jié)構(gòu)以適應(yīng)有限空間的應(yīng)用需求
行程600mm
精度±1.0um
ANT95-XY系列雙軸納米平移臺1.結(jié)構(gòu)緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實(shí)現(xiàn)大行程納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
4.1納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
ALS1000 直線電機(jī)平臺
1.直驅(qū)直線馬達(dá)實(shí)現(xiàn)超精密運(yùn)動
2.長壽命直線運(yùn)動導(dǎo)軌系統(tǒng)
3.2軸內(nèi)部電纜管理系統(tǒng)
4.可選氣體凈化的密封設(shè)計(jì)
5.低成本，占地面小，高性能
行程450mm
精度±1.0um
負(fù)載50.0kg
ALS5000 直線電機(jī)平臺
1.適合惡劣環(huán)境
2.堅(jiān).臺面和導(dǎo)軌罩
3.完全整合電纜管理系統(tǒng)
4.高精度，非接觸式直線編碼器（光柵尺）
5.可選氣體凈化的密封設(shè)計(jì)
行程1000mm
精度±1.0um
負(fù)載135.0kg
ALS5000WB 直線電機(jī)平臺
1.寬底座可以承受較大的偏移負(fù)載
2.強(qiáng)大的雙直線電機(jī)驅(qū)動
3.堅(jiān)硬涂層臺面和導(dǎo)軌罩
4.完全整合電纜管理系統(tǒng)
5.可選氣體凈化的密封設(shè)計(jì)
行程1000mm
精度±1.0um
負(fù)載135.0kg
Aerotech精密轉(zhuǎn)臺的詳細(xì)描述：
自1970年Aerotech開始研制性能的運(yùn)動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界范圍內(nèi)的工業(yè)制造、政府及自然科學(xué)研究等行業(yè)。Aerotech能夠?yàn)樯茖W(xué)及醫(yī)學(xué)設(shè)備，半導(dǎo)體加工，光子學(xué)，數(shù)據(jù)存儲，激光應(yīng)用，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應(yīng)用苛刻要求的高性能精密運(yùn)動控制產(chǎn)品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產(chǎn)品性能和服務(wù)能力的附加價(jià)值，我們的座右銘是：Dedicated to theScienceof Motion。
Aerotech高精密轉(zhuǎn)臺，aerotech高精密氣浮轉(zhuǎn)臺，aerotech高精密機(jī)械轉(zhuǎn)臺
ABRS超精密轉(zhuǎn)臺
ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動轉(zhuǎn)臺擁有一個低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，卓越的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動誤差。
ABRS精密轉(zhuǎn)臺的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測，高精度測量，激光衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測和制造以及納米制造技術(shù)。
特點(diǎn):
1. 無刷無槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動
2. 卓越的速度穩(wěn)定性（無齒槽效應(yīng)）
3. 的運(yùn)動性能，誤差小，無抖動
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
6. 氣浮軸承，無機(jī)械接觸
臺面直徑：128~278mm
反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec
雙向重復(fù)定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
異步軸跳： 20nm
異步徑跳： 20nm
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ABRT超精密轉(zhuǎn)臺
1專為硅片檢測，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動
3突出的速度穩(wěn)定性，波動率低于萬分之一（電機(jī)無接頭效應(yīng)）
4卓越的運(yùn)動性能,誤差小,無抖動
5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
7無機(jī)械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm
AOM360D光電跟蹤轉(zhuǎn)臺
AOM360D全方位定位裝置能夠提供最精確的方位角和仰角值。軍工級品質(zhì)的電機(jī)，軸承和傳感器組合而成的機(jī)架裝置保證了整體的性能。AOM360D被應(yīng)用于使用傳感器和光學(xué)設(shè)備對方位角和仰角值進(jìn)行自動檢測。其他應(yīng)用包括方位校準(zhǔn)，激光束指引，目標(biāo)捕獲及跟蹤，照相機(jī)和光電望遠(yuǎn)鏡的掃描和定位。
特點(diǎn)：
1. 所有軸均可360度旋轉(zhuǎn)
2. 超精確的定位精度和雙向重復(fù)定位精度
3. 超低的軸向擺動及正交性
4. 無刷無槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動
5. 高精度圓光柵反饋
6. 無齒槽設(shè)計(jì)提供卓越的速度穩(wěn)定性
7. 熱穩(wěn)定性好于0.4 arc sec/攝氏度
8. 負(fù)載直徑可達(dá)500mm，負(fù)載質(zhì)量可達(dá)50kg
9. 可以用于真空環(huán)境
負(fù)載直徑193-485mm
負(fù)載質(zhì)量 20~50kg
分辨率0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角擺動 3 arc sec
仰角擺動 5 arc sec
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AMG 系列1包括內(nèi)置滑環(huán),方位角和仰角連續(xù)360度旋轉(zhuǎn)
2高精度角度定位和角速度性能
3直驅(qū)無刷伺服電機(jī),零間隙
4無嵌齒效應(yīng),突出的速度穩(wěn)定性
5適應(yīng)的負(fù)載直徑達(dá)600毫米
6低維護(hù)和高穩(wěn)定性,所有權(quán)成本
分辨率.27μrad-0.13μrad
孔徑范圍194mm-591mm
負(fù)載20kg-70kg
ADR系列直接驅(qū)動精密轉(zhuǎn)臺提供精確的角度定位和速度控制。
應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。
特點(diǎn)：
1.無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動
2.無齒槽設(shè)計(jì)提供卓越的速度穩(wěn)定性
3.的運(yùn)動性能，誤差小，無抖動
4.直連式高精度圓光柵反饋
5.高精度機(jī)械軸承支撐
6.載荷可達(dá)150kg
臺面直徑：57~240mm
反饋分辨率：0.036~13 arc sec
雙向重復(fù)定位精度： 1arc sec
定位精度： 2 arc sec
軸跳： 0.5um
徑跳： 1um
ARMS直驅(qū)旋轉(zhuǎn)精密旋轉(zhuǎn)平臺
1.設(shè)計(jì)來生成高精確運(yùn)動
2.在全部360°范圍都能達(dá)到0.0001%速度穩(wěn)定性
3.定位分辨率0.02角秒
4.有效負(fù)載230kg
5.完整的導(dǎo)電環(huán)和不固定的旋轉(zhuǎn)管套節(jié)
6.可選直驅(qū)無刷電機(jī)以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速和高扭矩輸出
孔徑8mm-25mm
分辨率0.02-2arcsec
精度±2.5arcsec
ALS20000 直線電機(jī)平臺
1.保護(hù)金屬導(dǎo)軌罩
2.完整的電纜管理系統(tǒng)
3.潔凈空間應(yīng)用的理想選擇
4.緊湊的結(jié)構(gòu)，高性能，直線電機(jī)平臺
5.成像和掃描應(yīng)用中具有優(yōu)良的速度控制性能,適合成像和掃描應(yīng)用
行程600mm
精度±1.0um
負(fù)載70.0kg
ABG10250-250 ABG10500-500 ABG10750-750 ABG11000-1000
ABG10250-250-10-NC-LT50AS
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