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Aerotech ABG10000氣浮平臺
1氣浮導軌實現超平滑運動
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
行程≤1000mm
精度±2um
重復定位精度±0.5um
直線度±1um
平面度±1um
Aerotech高精密定位平臺的詳細描述：
自1970年Aerotech開始研制性能的運動控制產品和精密定位系統，這些產品廣泛應用于世界范圍內的工業制造、政府及自然科學研究等行業。Aerotech能夠為生命科學及醫學設備，半導體加工，光子學，數據存儲，激光應用，航空和國防，電子產品制造、測試及裝配等行業的研究和發展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應用苛刻要求的高性能精密運動控制產品。
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Aerotech承諾始終如一的提高我們的產品性能和服務能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to the Scienceof Motion。
ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準和裝配應用設計
2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3閉環分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設計
行程≤150mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL1500直線電機平臺
1專為高性能掃描和檢測應用設計
2分辨率達到nm以下的直線編碼器反饋
3全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4大負載高剛性幾何特性極好
行程≤500mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應用設計
2運動超平滑,速度穩定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達1.2米
5全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
6全部非接觸設計
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應用設計
2雙軸,大孔,開放式結構
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅動XY軸
5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性極好
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
ABL9000氣浮平臺
1世上性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
ABG10000氣浮平臺
1氣浮導軌實現超平滑運動
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
行程≤1000mm
精度±2um
重復定位精度±0.5um
直線度±1um
平面度±1um
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ANT95-L系列納米平移臺1.實現大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態特性
ALS25000 直線電機平臺
1.防護金屬導軌罩和側面封閉可以適應惡劣的環境
2.完整的電纜管理系統
3.高性能直驅直線電機實現優良的伺服性能
4.緊湊結構以適應有限空間的應用需求
行程600mm
精度±1.0um
ANT95-XY系列雙軸納米平移臺1.結構緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實現大行程納米定位
3.高分辨率（1納米），重復定位精度（75納米），定位精度（250納米）
4.1納米的位置穩定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態特性
ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺1.大行程實現納米定位
2.高分辨率（2納米），重復定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態特性
ALS1000 直線電機平臺
1.直驅直線馬達實現超精密運動
2.長壽命直線運動導軌系統
3.2軸內部電纜管理系統
4.可選氣體凈化的密封設計
5.低成本，占地面小，高性能
行程450mm
精度±1.0um
負載50.0kg
ALS5000 直線電機平臺
1.適合惡劣環境
2.堅.臺面和導軌罩
3.完全整合電纜管理系統
4.高精度，非接觸式直線編碼器（光柵尺）
5.可選氣體凈化的密封設計
行程1000mm
精度±1.0um
負載135.0kg
ALS5000WB 直線電機平臺
1.寬底座可以承受較大的偏移負載
2.強大的雙直線電機驅動
3.堅硬涂層臺面和導軌罩
4.完全整合電纜管理系統
5.可選氣體凈化的密封設計
行程1000mm
精度±1.0um
負載135.0kg
Aerotech精密轉臺的詳細描述：
自1970年Aerotech開始研制性能的運動控制產品和精密定位系統，這些產品廣泛應用于世界范圍內的工業制造、政府及自然科學研究等行業。Aerotech能夠為生命科學及醫學設備，半導體加工，光子學，數據存儲，激光應用，電子產品制造、測試及裝配等行業的研究和發展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應用苛刻要求的高性能精密運動控制產品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產品性能和服務能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to theScienceof Motion。
Aerotech高精密轉臺，aerotech高精密氣浮轉臺，aerotech高精密機械轉臺
ABRS超精密轉臺
ABRS氣浮軸承精密運動轉臺擁有一個低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，卓越的速度穩定性以及極小的運動誤差。
ABRS精密轉臺的設計應用于硅片檢測，高精度測量，激光衍射系統，光學檢測和制造以及納米制造技術。
特點:
1. 無刷無槽力矩電機直接驅動
2. 卓越的速度穩定性（無齒槽效應）
3. 的運動性能，誤差小，無抖動
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 扁平結構設計
6. 氣浮軸承，無機械接觸
臺面直徑：128~278mm
反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec
雙向重復定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
異步軸跳： 20nm
異步徑跳： 20nm
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ABRT超精密轉臺
1專為硅片檢測，X射線衍射系統，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
2無刷無槽伺服電機直接驅動
3突出的速度穩定性，波動率低于萬分之一（電機無接頭效應）
4卓越的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯高精度旋轉編碼器
6扁平結構設計
7無機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm
AOM360D光電跟蹤轉臺
AOM360D全方位定位裝置能夠提供最精確的方位角和仰角值。軍工級品質的電機，軸承和傳感器組合而成的機架裝置保證了整體的性能。AOM360D被應用于使用傳感器和光學設備對方位角和仰角值進行自動檢測。其他應用包括方位校準，激光束指引，目標捕獲及跟蹤，照相機和光電望遠鏡的掃描和定位。
特點：
1. 所有軸均可360度旋轉
2. 超精確的定位精度和雙向重復定位精度
3. 超低的軸向擺動及正交性
4. 無刷無槽力矩電機直接驅動
5. 高精度圓光柵反饋
6. 無齒槽設計提供卓越的速度穩定性
7. 熱穩定性好于0.4 arc sec/攝氏度
8. 負載直徑可達500mm，負載質量可達50kg
9. 可以用于真空環境
負載直徑193-485mm
負載質量 20~50kg
分辨率0.055arcsec
雙向重復定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角擺動 3 arc sec
仰角擺動 5 arc sec
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AMG 系列1包括內置滑環,方位角和仰角連續360度旋轉
2高精度角度定位和角速度性能
3直驅無刷伺服電機,零間隙
4無嵌齒效應,突出的速度穩定性
5適應的負載直徑達600毫米
6低維護和高穩定性,所有權成本
分辨率.27μrad-0.13μrad
孔徑范圍194mm-591mm
負載20kg-70kg
ADR系列直接驅動精密轉臺提供精確的角度定位和速度控制。
應用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。
特點：
1.無刷力矩電機直接驅動
2.無齒槽設計提供卓越的速度穩定性
3.的運動性能，誤差小，無抖動
4.直連式高精度圓光柵反饋
5.高精度機械軸承支撐
6.載荷可達150kg
臺面直徑：57~240mm
反饋分辨率：0.036~13 arc sec
雙向重復定位精度： 1arc sec
定位精度： 2 arc sec
軸跳： 0.5um
徑跳： 1um
ARMS直驅旋轉精密旋轉平臺
1.設計來生成高精確運動
2.在全部360°范圍都能達到0.0001%速度穩定性
3.定位分辨率0.02角秒
4.有效負載230kg
5.完整的導電環和不固定的旋轉管套節
6.可選直驅無刷電機以實現高轉速和高扭矩輸出
孔徑8mm-25mm
分辨率0.02-2arcsec
精度±2.5arcsec
ALS20000 直線電機平臺
1.保護金屬導軌罩
2.完整的電纜管理系統
3.潔凈空間應用的理想選擇
4.緊湊的結構，高性能，直線電機平臺
5.成像和掃描應用中具有優良的速度控制性能,適合成像和掃描應用
行程600mm
精度±1.0um
負載70.0kg
ABG10250-250 ABG10500-500 ABG10750-750 ABG11000-1000
ABG10250-250-10-NC-LT50AS
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