STK-5120_SINTAIKE撕膜機(jī)_半自動(dòng)無耗材撕膜
STK-5120半自動(dòng)晶圓減薄后撕膜機(jī)特點(diǎn):
·機(jī)械手撕膜技術(shù),無耗材撕膜
·全自動(dòng)撕膜和收集廢膜
·手動(dòng)放置和取出晶圓,或帶承載環(huán)貼膜的晶圓
·8”陶瓷晶圓臺盤可以匹配8”晶圓/承載環(huán)
·12”陶瓷晶圓臺盤可以匹配12”晶圓/承載環(huán)
·基于PLC控制,帶5.7”觸摸屏
·去離子風(fēng)扇和ESD保護(hù)
·UV膜&非UV膜能力
·配置光簾保護(hù)功能,和緊急停止按鈕
·三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控
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