SINTAIKE晶圓減薄貼膜機(jī)Stk-6050
SINTAIKE晶圓減薄貼膜機(jī)Stk-6050規(guī)格：
晶圓直徑：8”- 12”晶圓；
晶圓厚度：100~750 微米；
晶圓種類：硅, 砷化鎵或其它材料；
單平邊,雙平邊,V 型缺口；
膜種類：藍(lán)膜或者 UV 膜；
貼膜方法：滾輪貼膜；
晶圓臺盤：接觸式晶圓臺盤；
晶圓臺盤加熱：MAX可達(dá) 120℃ (對應(yīng)接觸式臺盤，可 選)；
晶圓放置精度：X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5°；
裝卸方式：手動(dòng)晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測；
防靜電控制：去離子風(fēng)扇；
切割系統(tǒng)：自動(dòng)刀；
控制單元：基于 PLC 控制，10.4”觸摸屏；
電源電壓：單相交流電 220V,10A；
壓縮空氣：60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺；
燈塔：三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監(jiān)測；
安全：配置安全光簾和緊急停機(jī)開關(guān)；
體積：950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ；
凈重：300 公斤；
晶圓減薄貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%；
貼膜品質(zhì)：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
Cycle Time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料時(shí) 間）；
MTBF：>168 小時(shí)；
MTTR：<1 小時(shí)；
停機(jī)時(shí)間： <3%；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 10 分鐘。
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