多線切割技術(shù)可被用于切割脆硬材料,如硅錠等,此外也可用于分割難切削的材料。該工藝具有以下的優(yōu)點(diǎn):
(1)經(jīng)濟(jì)效益高,一次可切割幾百個(gè)晶片
(2)可切割直徑至300mm的硅錠
(3)晶體缺陷深度小
(4)幾何缺陷少(TTV,弓曲,偏差等)
(5)適合于分割硬脆或難以切削的材料
多線切割機(jī)主要由機(jī)床、數(shù)控系統(tǒng)和高頻電源這三部分組成。數(shù)控系統(tǒng)由單片機(jī)、鍵盤、變頻檢測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成,具有間隙補(bǔ)償、直線插補(bǔ)、圓弧插補(bǔ)、斷絲自動(dòng)處理等主要功能。能切割材料,如高強(qiáng)度、高韌性、高硬度、高脆性、磁性材料,以及精密細(xì)小和形狀復(fù)雜的零件。多線切割技術(shù)、線切割機(jī)床正在各行各業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。http://www.fangzhi-peijian.com/