等離子凈化設備是目前工業廢氣處理中的常用設備之一，此設備的出現，改善了傳統活性炭材料的工藝技術，再生原料無需處理，無二次污染，同時運行與維護的成本都比較低。
等離子凈化設備深受歡迎與其工作原理相關，通過外加電場的作用，產生的介質放電產生大量的攜能電子攻擊污染物分子，使其電離、解離和激發，使大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害的物質轉變為無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以將解去除。
常見的產生等離子介質的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，所以許多等離子凈化設備也分高溫與低溫兩種。
