? ? ?干泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1，低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2.半導(dǎo)體刻腐蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到生成腐蝕氣體和研磨微粒；3.除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排除泵外，用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求；4.化學(xué)工業(yè)、醫(yī)學(xué)工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5.用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。
