圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂

產(chǎn)品價(jià)格：	/人民幣
最后更新：	2022-05-18 13:02:14
產(chǎn)品產(chǎn)地：	本地
發(fā)貨地：	本地至全國 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	139

公司基本資料信息

深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂

圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂特點(diǎn)：
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂單臂
到達(dá)距離 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

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