低溫等離子工業廢氣處理設備和技術作為一種新型的氣態污染物處理技術是一種集物理，化學，生物和環境科學于一體的交叉集成電子化學技術，因為能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是最多的一種國內外大氣污染控制的有前途和有效的技術方法。它具有廣泛的使用和推廣前景，它為工業領域中的VOC有機廢氣和惡臭氣體治理開辟了新的思路。
1.主要采用脈沖高頻高壓等離子電源和雙介質齒板放電裝置，端子放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集材料，其高能電子可以在幾毫秒內瞬間穿透空氣和排氣分子，發生一系列的分化和裂解反應，產生高濃度，高強度，高能量活動自由度。堿和各種電子，離子等，當與機器廢氣中的分子碰撞時發生一系列物理化學反應，并在反應過程中產生各種活性自由基和生態氧，即由原子氧產生的臭氧分解。
2.活性自由基可以有效地破壞各種病毒和細菌中的核酸和蛋白質，使它們無法進行正常的新陳代謝和生物合成，從而導致它們死亡；生態氧可迅速在血漿中含有大量有機廢氣分子。高能電子，正離子和負離子，激發態粒子和具有強氧化性質的后型自由基。這些活性顆粒與一些廢氣分子碰撞，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，生成無害產物。
