美國ALICAT MCS耐腐蝕氣體質量流量控制器 HCL氣體流量控制器應用

型號變體

• 低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）
• 高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
• 閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
• 配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

美國ALICAT MCS耐腐蝕氣體質量流量控制器  HCL氣體流量控制器 閥門選項

您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

• MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應用
• MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產品不適用）
• MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
• MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量