HCL氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品價格：	13200/人民幣
最后更新：	2022-07-01 10:09:26
產(chǎn)品產(chǎn)地：	美國
發(fā)貨地：	北京 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	801

公司基本資料信息

北京芯笙微納電子科技有限公司
郭先生
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

HCL氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時出現(xiàn)污染情況。

多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

HCL氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器性能

可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
無需預(yù)熱時間

HCL氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器工作條件

兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：

MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書
艾里卡特操作說明書

HCL氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT耐腐蝕性氣體質(zhì)量流量控制器配件（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件

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