有機廢氣或惡臭氣體經過去塵增濕或降溫等預處理后，廢氣穿過由濾料組成的濾床，廢氣從氣相進去液相，被附著于濾料的微生物用于代謝，使廢氣成分被吸收分解，分解最終產物為二氧化碳和水，實現有機廢氣、惡臭廢氣的凈化。生物濾池技術治理廢氣凈化效率達到90%，適用于中、低濃度有機廢氣和惡臭廢氣治理。

生物凈化過程的實質是附著在濾料介質中的微生物在適宜的環境條件下，利用廢氣中的有機成分作為碳源和能源，維持其生命活動，并將有機物分解成CO2、H2O的過程。氣相主體中VOCs首先經歷由氣相到固相或液相的傳質過程，然后才在固相或液相中被微生物分解。

微生物能將有機物氧化成二氧化碳和水等物質但此過程很難在氣相中進行，因而凈化有機廢氣的過程大多是在液相中完成的。生物法的凈化原理為以生物膜為有效吸附表面，以活菌體為生物反應活化中心的的吸附—生物化學反應過程，微生物對廢氣的凈化過程主要分為傳質和生物降解兩部分。

生物濾池工藝一般分好氧及生物過濾兩段，前段以生物氧化為主，吸附截留為輔，后段吸附截留為主，生物氧化為輔，存在生化效率低，因為只有好氧生化反應，對于難生化物質有機降解效果將大打折扣，廢氣先通過增濕塔增濕然后從反應器下部進入通過附著在填料上的微生物而將有機廢氣降解。