江蘇半導體芯片異味凈化工程設計

江蘇半導體芯片異味凈化工程設計

工作原理：

半導體芯片生產線有機混合廢氣經引風機作用，s先經過預處理過濾裝置去除廢氣中的粉塵及雜質部分，經過初步過濾后“相對純凈的有機廢氣”進入沸石轉輪吸附裝置進行吸附凈化處理，有機物質被轉輪沸石特有的作用力截留在內，潔凈氣體排出。經過一段時間吸附后，沸石轉輪達到飽和狀態，轉輪自動轉動進入冷卻和高溫脫附區域；經過沸石轉輪脫附出來的高濃度廢氣進入TO直燃式焚燒爐，進行焚燒凈化處理。廢氣焚燒后的爐膛燃燒室高溫氣體與內部熱交換器進行熱交換預熱進來的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱后溫度控制在300-350℃左右，進入燃燒室燃燒，經內部換熱器降溫后，進入尾部二級煙氣余熱利用裝置，升溫后的潔凈氣體進入轉輪脫附區用于脫附，此時脫附出來的廢氣屬于濃度高、風量小、溫度高的有機廢氣，再進入二級煙氣余熱利用裝置用于廢氣溫度二次提高，進入TO焚燒爐焚燒處理。

主要設備：

（1）沸石轉輪


（2）TO直燃式熱氧化焚燒爐


工藝流程：

VOCs有機廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮/加熱脫附→TO焚燒爐焚燒→煙囪（達標排放）

半導體芯片生產線有機廢氣經引風機的作用，經過預處理過濾裝置去除廢氣中的粉塵及雜質部分，初步過濾后“相對純凈的有機廢氣”進入沸石轉輪吸附裝置進行吸附凈化處理，有機物質被轉輪沸石特有的作用力截留在其內部，潔凈氣體排出，經過一段時間吸附后，沸石轉輪達到飽和狀態，轉輪按照每小時1-3轉的速度自動轉動進入冷卻和高溫脫附區域。經過沸石轉輪脫附出來的高濃度廢氣，直接進入TO直燃式焚燒爐進行焚燒凈化處理，廢氣焚燒后的爐膛燃燒室高溫氣體與內部熱交換器進行熱交換預熱進來的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱后溫度控制在300-350℃左右，進入燃燒室燃燒，經內部換熱器降溫后，進入尾部二級煙氣余熱利用裝置，一級余熱利用裝置用于脫附，升溫后的潔凈氣體進入轉輪脫附區用于脫附，沸石中的有機物受到熱空氣加熱后從沸石中揮發出來，此時脫附出來的廢氣屬于濃度高、風量小、溫度高的有機廢氣再進入二級煙氣余熱利用裝置，用于將廢氣溫度二次提高，進入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運行成本，做到真正的節能、環保。整套系統安全、可靠、無任何二次污染，廢氣凈化率達到96%以上。

江蘇半導體芯片異味凈化工程設計