江蘇半導體芯片生產線VOCs異味凈化工程設計

江蘇半導體芯片生產線VOCs異味凈化工程設計

半導體芯片生產線VOCs有機廢氣處理工藝

工藝流程：

酸/堿性廢氣收集→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪（達標排放）

酸堿廢氣經過收集管道集中收集后按照各自的系統進入相應的化學洗滌塔進行噴淋處理，格林斯達環保自主設計的化學洗滌塔通過內部的噴淋系統、循環水系統、填料過濾系統、除霧系統、自動加藥系統、自動補排水等系統對進入化學洗滌塔的廢氣進行化學吸收、除霧，經過處理后的廢氣達標排放。

工作原理：

半導體芯片生產線有機混合廢氣經引風機作用，s先經過預處理過濾裝置去除廢氣中的粉塵及雜質部分，經過初步過濾后“相對純凈的有機廢氣”進入沸石轉輪吸附裝置進行吸附凈化處理，有機物質被轉輪沸石特有的作用力截留在內，潔凈氣體排出。經過一段時間吸附后，沸石轉輪達到飽和狀態，轉輪自動轉動進入冷卻和高溫脫附區域；經過沸石轉輪脫附出來的高濃度廢氣進入TO直燃式焚燒爐，進行焚燒凈化處理。廢氣焚燒后的爐膛燃燒室高溫氣體與內部熱交換器進行熱交換預熱進來的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱后溫度控制在300-350℃左右，進入燃燒室燃燒，經內部換熱器降溫后，進入尾部二級煙氣余熱利用裝置，升溫后的潔凈氣體進入轉輪脫附區用于脫附，此時脫附出來的廢氣屬于濃度高、風量小、溫度高的有機廢氣，再進入二級煙氣余熱利用裝置用于廢氣溫度二次提高，進入TO焚燒爐焚燒處理。

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