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江蘇半導體酸堿廢氣異味凈化工程設計

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產品價格: 面議/人民幣 
最后更新: 2022-07-31 11:10:10
產品產地: 滄州市
發(fā)貨地: 滄州市 (發(fā)貨期:當天內發(fā)貨)
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    產品詳細說明

    江蘇半導體酸堿廢氣異味凈化工程設計


    半導體芯片生產線廢氣介紹
    廢氣成分:半導體芯片生產線廢氣主要包括酸堿廢氣和有機廢氣兩類。酸/堿廢氣包括:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、等。有機廢氣包括:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;

    廢氣來源:在半導體芯片生產線造成環(huán)境污染的有害氣體,主要來源于芯片生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。

    廢氣特點:半導體芯片生產線廢氣具有排氣量大、濃度小的特點。





    主要設備:

    (1)洗滌塔設備樣式:洗滌塔的結構型式分為立式和臥式。

    (2)洗滌塔設備組成:包括塔體、填料層、除霧層、循環(huán)水管路及循環(huán)水箱等。

    (3)洗滌塔設備材料:廢氣處理設備以FRP為主要材料生產,填料采用PP材質的麥勒環(huán)。

    工藝流程:

    酸/堿性廢氣收集→酸/堿式洗滌塔→離心風機→煙囪(達標排放)

    酸堿廢氣經過收集管道集中收集后按照各自的系統(tǒng)進入相應的化學洗滌塔進行噴淋處理,格林斯達環(huán)保自主設計的化學洗滌塔通過內部的噴淋系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、填料過濾系統(tǒng)、除霧系統(tǒng)、自動加藥系統(tǒng)、自動補排水等系統(tǒng)對進入化學洗滌塔的廢氣進行化學吸收、除霧,經過處理后的廢氣達標排放。





    江蘇半導體酸堿廢氣異味凈化工程設計



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