煙臺(tái)非甲烷總烴廢氣異味治理方案

煙臺(tái)非甲烷總烴廢氣異味治理方案

廢氣成分：半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線廢氣主要包括酸堿廢氣和有機(jī)廢氣兩類。酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、等。有機(jī)廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；

半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線對(duì)大氣的污染，主要是器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物）揮發(fā)造成對(duì)大氣環(huán)境的污染，以及整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染，這些污染氣體會(huì)造成人群慢性或急性中毒。

立式廢氣洗滌塔工作原理為氣液兩相逆流接觸；含酸性或堿性廢氣由塔下部進(jìn)口進(jìn)入塔內(nèi)向上運(yùn)動(dòng)，通過單層或多層填料，廢（尾）氣與液相充分接觸后吸收或中和，干凈的氣體經(jīng)過上層的除霧層排出，從而達(dá)到吸收和凈化效果；

煙臺(tái)非甲烷總烴廢氣異味治理方案