山東半導(dǎo)體制程廢氣異味治理方案

山東半導(dǎo)體制程廢氣異味治理方案 

VOCs有機(jī)廢氣收集→沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮/加熱脫附→TO焚燒爐焚燒→煙囪（達(dá)標(biāo)排放）
半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線有機(jī)廢氣經(jīng)引風(fēng)機(jī)的作用，經(jīng)過(guò)預(yù)處理過(guò)濾裝置去除廢氣中的粉塵及雜質(zhì)部分，初步過(guò)濾后“相對(duì)純凈的有機(jī)廢氣”進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置進(jìn)行吸附凈化處理，有機(jī)物質(zhì)被轉(zhuǎn)輪沸石特有的作用力截留在其內(nèi)部，潔凈氣體排出，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間吸附后，沸石轉(zhuǎn)輪達(dá)到飽和狀態(tài)，轉(zhuǎn)輪按照每小時(shí)1-3轉(zhuǎn)的速度自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)入冷卻和高溫脫附區(qū)域。經(jīng)過(guò)沸石轉(zhuǎn)輪脫附出來(lái)的高濃度廢氣，直接進(jìn)入TO直燃式焚燒爐進(jìn)行焚燒凈化處理，廢氣焚燒后的爐膛燃燒室高溫氣體與內(nèi)部熱交換器進(jìn)行熱交換預(yù)熱進(jìn)來(lái)的脫附廢氣，使脫附廢氣換熱后溫度控制在300-350℃左右，進(jìn)入燃燒室燃燒，經(jīng)內(nèi)部換熱器降溫后，進(jìn)入尾部二級(jí)煙氣余熱利用裝置，一級(jí)余熱利用裝置用于脫附，升溫后的潔凈氣體進(jìn)入轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)用于脫附，沸石中的有機(jī)物受到熱空氣加熱后從沸石中揮發(fā)出來(lái)，此時(shí)脫附出來(lái)的廢氣屬于濃度高、風(fēng)量小、溫度高的有機(jī)廢氣再進(jìn)入二級(jí)煙氣余熱利用裝置，用于將廢氣溫度二次提高，進(jìn)入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運(yùn)行成本，做到真正的節(jié)能、環(huán)保。整套系統(tǒng)安全、可靠、無(wú)任何二次污染，廢氣凈化率達(dá)到96%以上。