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概述
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是很受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降低。
軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
技術數據
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EH250 |
EH500 |
EH1200 |
EH2600 |
EH4200 |
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排量（工作容積） |
310 m3h-1 / 185 ft3min-1 |
505 m3h-1 / 300 ft3min-1 |
1195 m3h-1 / 715 ft3min-1 |
2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 |
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1 |
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使用前級泵時的有效抽速 |
240 m3h-1 / 141 ft3min-1 |
350 m3h-1 / 206 ft3min-1 |
840 m3h-1 / 495 ft3min-1 |
1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 |
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1 |
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泵的壓力差 |
0-180 mbar/0-140 Torr |
0-110 mbar/0-83 Torr |
0-90 mbar/0-68 Torr |
0-80 mbar/0-60 Torr |
0-60 mbar / 0-45 Torr |
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進氣口連接 |
ISO63 |
ISO100 |
ISO160 |
ISO160 |
ISO250 |
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出口連接 |
ISO40 |
ISO63 |
ISO100 |
ISO100 |
ISO100 |
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轉速 |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
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連續進氣口工作壓力 |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
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最，大出口壓力 |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
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推薦的前級泵 |
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 |
GV80，E2M80 |
GV160、GV250、 |
GV250、GV400、 |
GV400、E2M275 |
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電機功率 |
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碳氫化合物 |
2.2 kW / 3 hp |
2.2 kW/3 hp |
3 kW/4 hp |
11 kW/15 hp |
11 kW/15 hp |
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PFPE |
1.5 kW / 2 hp |
1.5 kW/2 hp |
3 kW/4 hp |
7.5 kW/10 hp |
11 kW/15 hp |
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ATEX |
2.2 kW |
2.2 kW |
3 kW |
11 kW |
11 kW |
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防爆 |
3 hp |
3 hp |
4 hp |
15 hp |
15 hp |
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環境溫度范圍 |
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工作 |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
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存儲 |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
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最，大工作濕度 |
90% RH |
90% RH |
90% RH |
90% RH |
90% RH |
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推薦用油 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
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油容量 |
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齒輪箱 |
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1.25 l/1.3 qt |
3.5 l/3.3 qt |
3.5 l/3.3 qt |
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聯軸器蓋 |
1.5 l/1.6 qt |
1.5 l/1.6 qt |
1.5 l/1.6 qt |
6.5 l/7 qt |
6.5 l/7 qt |
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軸封儲油器 |
0.125 l/0.25 qt |
0.125 l/0.25 qt |
0.125 l/0.25 qt |
1.5 l/1.4 qt |
1.5 l/1.4 qt |
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重量 |
61 kg/134 lb |
74 kg/163 lb |
74 kg/163 lb |
308 kg/679 lb |
400 kg / 882 lb |
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