現在廢氣處理工藝應用繁多等離子已是很普遍的廢氣處理工藝，低溫等離子廢氣處理設備技術原理：低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、離子、原子和自由基等活性粒子與廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。
等離子凈化器是去除工業廢氣的專用設備，是去除有機廢氣、惡臭氣體的專用設備，經處理后的廢氣，必定排到室外，選擇空曠通風的方向排放。適用范圍：煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉運站等惡臭氣體的脫臭凈化處理等。但不可以用來去除易燃、易爆氣體或帶有腐蝕性的氣體。
功能介紹
等離子在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。
等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，最后生成無害產物。物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。
機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
低溫等離子廢氣處理設備
優點：
一、無需添加任何物質：低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，不需任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
二、適應性強：持久的凈化功能，無須專人看管。可適應高濃度、大氣量、不同氣態物質的凈化處理，可在高溫250℃,低溫-50℃的環境內,凈化區均可運轉,特別是在潮濕,甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行，每天24小時連續工作，長期運行穩定可靠。
三、低耗節能：運行費用低廉、省電是“低溫等離子體”專利核心技術之一,處理1000M3/h臭氣，耗電量僅0.25度。本設備無任何機械動作，自動化程度高,工藝簡潔,操作簡單,方便無需專人管理和日常維護，遇故障自動停機報警，只需作定期檢查。
四、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化性強，對酸、堿氣體、潮濕環境等具有良好的防腐性能。使用壽命長達15年以上。
五、安全：“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全可靠。
六、高科技創新產品：“低溫等離子體”技術是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。
七、廢氣凈化效率高：本設備能效率高的去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達98%以上，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有強力殺滅空氣中細菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。除臭效果超過國家頒布的惡臭污染物排放1級標準。
參數指標
A.低空排放、高空排放
B.排放特點
C.凈化效率：（溫度為60℃的體積額定風量下）
環境要求
A.環境溫度：+10～+40℃
B.環境濕度：20～90%
C.海拔高度：＜1000米
D.適用煙氣：＜70℃，非易燃、易爆、易揮發、強腐蝕性的氣體
工作原理
如圖3-1VOCs被煙罩收集，經過風管排入本設備，防火過濾棉將油霧及雜物過濾后，通過多級等離子電場的捕捉分離，在高能電子的作用下，使煙氣異味分子受激發，帶電粒子或分子間的化學鍵被打斷，同時空氣中的水和氧氣在高能電子轟擊下也會產生OH自由基、活性氧等強氧化性物質，這些強氧化性物質也會與異味分子反應，使其分解，從而促使煙氣異味消除，成為較干凈的氣體再排出，達到油煙凈化的目的。在靜電場中分離出來的液滴、煙塵被沉積在電場組件的內壁上，然后匯流到排油管排出作統一回收處理。
一般使用噴淋塔做為等離子廢氣處理系統的預處理
噴淋塔和等離子廢氣處理設備
異味氣體從氣體收集系統收集后，一部分廢氣需要進行預處理，除水后進入等離子體反應區，在高能電子的作用下，使異味分子受激發，帶電粒子或分子間的化學鍵被打斷，同時空氣中的水和氧氣在高能電子轟擊下也會產生OH自由基、活性氧等強氧化性物質，這些強氧化性物質也會與異味分子反應，使其分解，從而促使異味消除。凈化后的氣體經排氣筒高空排放。
