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3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送
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產品價格： /人民幣 
最后更新： 2022-08-11 15:45:45
產品產地： 本地
發貨地： 本地至全國 (發貨期：當天內發貨)
供應數量： 不限
有效期： 長期有效
最少起訂： 1
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  • 公司基本資料信息
    • 深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
    • 劉慶先生 銷售經理
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    產品詳細說明
    3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送


    采用AC伺服電機的3軸機械臂特點： 
    超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列
    適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運
    全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
    比MHR系列具有更好的性價比優勢
    機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
    適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
    配備動作監視器
    控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
    全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機
    S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
    晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
    手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
    可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供手指





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