采用低溫等離子體等離子體技術處理污染物的基本原理是：介質放電產生大量的高能量電子轟擊污染物分子，使之電離、解離和激發；隨后引發一系列復雜的物理、化學反應，將復雜的大分子污染物轉化為簡單的小分子安全物質，或將有毒有害物質轉化為無毒或低毒低害物質，使污染物降解去除。應用低溫等離子體技術處理大氣中的低濃度污染氣體具有很高的處理效率，是一種性價比非常高的效率處理技術。
本發明具有效率高，成本低，設備適應性強，占地面積小，操作方便，開停方便，與噴漆工藝同步化，可根據污染源強度和排放要求進行升級等特點。等離子體技術作為環境污染治理領域的一項具有巨大潛力的高新技術，已引起國內外相關學科的高度重視。
單一等離子體處理有機廢氣效率高、副產物少，不會造成二次污染，但其能耗高、能效低是目前需要解決的問題，等離子體復合光催化技術可以彌補這一不足。等離子體催化劑選擇了TiO2，它是一種半導體化合物，它只被吸收一個較短的太陽光，并激發它的活性，因此在設計反應裝置時需要加入一個紫外光源。
